C30B—SINGLE-CRYSTAL-GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR

C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method

C30B15/10—Crucibles or containers for supporting the melt

Abstract

In a process to fabricate a quartz glass crucible in which to grow a single crystal, a crucible form has an inner face linked by holes to an outer face. The outer and inner faces have a first layer of coarse SiO2 particles under a barrier layer finer SiO2 grains. The crucible outer face is subjected to reduced pressure and the two layers are heated to form the final surface layer with a transparent inner surface. The barrier layer grains have an average diameter less than 50 microns.

Das Anfeuchten der Außenkörnungsschicht bewirkt eine Erhöhung von Adhäsionskräften in Bezug auf die darauf aufgebrachte Sperrschichtkörnung, was zu deren Immobilisierung in Form einer Sperrkörnungsschicht beiträgt. The moistening of the outer grain layer causes an increase of adhesion forces with respect to the barrier layer applied thereon grain size, which contributes to their immobilization in the form of a locking grain layer.Die Außenkörnungsschicht wird entweder aus angefeuchteter Außenschichtkörnung hergestellt oder sie wird vor dem Aufbringen der Sperrschichtkörnung befeuchtet, etwa durch Aufsprühen einer Flüssigkeit, wie etwa Wasser oder Alkohol. The outer grain layer is made of either moistened outer layer granulation or she is humidified prior to applying the barrier layer granulation, for example by spraying a liquid, such as water or alcohol.Die Befeuchtung kann aber auch während des Aufbringens der Sperrschichtkörnung erfolgen. but the wetting can also take place during the application of the barrier layer granulation.

Die Sperrschichtkörnung wird in der Regel nur geringfügig angefeuchtet, so dass sich ein Feuchtigkeitsgehalt von weniger als 4% ergibt. The barrier layer granulation is dampened only slightly, as a rule, so that a moisture content of less than 4% results.Alternativ dazu kann die Sperrschichtkörnung beispielsweise in einer Suspension aufgenommen oder dispergiert in einem Kieselsäure-Gel auf die Außenkörnungsschicht aufgetragen werden. Alternatively, the barrier layer granulation can be recorded, for example, in a suspension or dispersed are applied to the outer grain layer in a silica gel.Das Anfeuchten der Sperrschichtkörnung kann vor, beim oder nach dem Erzeugen der Sperrkörnungsschicht erfolgen. The wetting of the barrier granulation can take place before, during or after production of the barrier granulation layer.Diese Maßnahme hat gegenüber dem Befeuchten der Außenkörnungsschicht den Vorteil, dass die Feuchtigkeit nur oberflächennah eingebracht wird, und daher im Verlauf des Tiegelherstellungsprozesses leichter wieder entfernt werden kann. This measure has the advantage that the moisture is introduced to the surface only be compared to the wetting of the outer grain layer to advantage, and therefore in the course of the crucible manufacturing process can again be removed easily.

Der Raum zwischen dem Träger The space between the carrier3 3und der Schmelzform and the melting form1 1ist mittels einer Vakuumeinrichtung, die durch den Richtungspfeil is by means of a vacuum means through the directional arrow17 17repräsentiert wird, evakuierbar. is represented evacuated.Die Schmelzform The melting form1 1weist eine Vielzahl von Durchlässen has a plurality of passages8 8thauf (diese sind in on (these are in1 1nur symbolisch im Bodenbereich angedeutet), über die das an der Außenseite der Form only symbolically indicated in the bottom area) over which the on the outside of the mold1 1anliegende Vakuum vacuum applied17 17nach Innen durchgreifen kann. can pass through to the inside.

Im Folgenden wird die Herstellung eines 28-Zoll-Quarzglastiegels gemäß der Erfindung anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels näher erläutert. In the following the preparation of a 28-inch quartz glass crucible according to the invention with reference to a preferred embodiment is explained in detail.