Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of forming a film which easily forms a zinc-oxide film having different electrical conductivity, and a method of manufacturing a semiconductor device using the method of forming the film. <P>SOLUTION: A zinc-oxide film is formed by a sputtering method, in which a non-doped zinc-oxide target and Ar gas and oxygen gas for the discharge gas are used. In the case of continuously increasing (decreasing) the electrical conductivity of the zinc-oxide film, the partial pressure of the oxygen gas during the film formation is continuously decreased (increased). In the case of alternately stacking a zinc-oxide film of high electrical conductivity and a zinc-oxide film of low electrical conductivity, a zinc-oxide film is formed under the lower partial pressure of the oxygen gas, and a new zinc-oxide film is subsequently formed on the former zinc-oxide film under the increased partial pressure of the oxygen gas. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

Translated from Japanese

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、スパッタ法による酸化亜鉛膜の成膜方法、及び基板上に酸化亜鉛膜をスパッタ法によって積層してなる半導体装置の製造方法に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION [0001] [Technical Field of the Invention The present invention provides method of forming a zinc oxide film by sputtering, and a semiconductor device formed by laminating by sputtering a zinc oxide film on a substrate It relates to a method for manufacturing.【０００２】 【従来の技術】薄膜トランジスタ、発光素子、又は圧電体等の電子デバイスは、絶縁膜、半導体膜、又は導電膜等の導電率が異なる薄膜を積層して構成される。 [0002] thin film transistor, light emitting device or an electronic device of the piezoelectric body or the like, an insulating film, a semiconductor film, or a conductive film such as conductivity of formed by stacking different thin films.酸化亜鉛は、絶縁膜、透明電極膜、又は半導体膜等を形成するために用いられる。 Zinc oxide is used to form an insulating film, a transparent electrode film, or a semiconductor film.酸化亜鉛を用いて電子デバイスを構成する場合、該電子デバイスは、酸化亜鉛膜と、酸化亜鉛とは導電率が異なる物質を用いてなる膜とを積層したり、夫々導電率が異なる複数の酸化亜鉛膜を積層したりして構成される。 When configuring the electronic device using zinc oxide, the electronic device, a zinc oxide film, or by laminating a film formed by using the conductivity material different from zinc oxide, a plurality of oxidation respective conductivities are different configured or stacked zinc film.導電率が異なる複数の酸化亜鉛膜をスパッタ法によって形成するときは、各酸化亜鉛膜に対して膜中のキャリア密度を調整すべく、ドーピングされている不純物（Ａｌ又はＧａ等）の量が異なる酸化亜鉛ターゲットを用いて各酸化亜鉛膜を成膜する。 When conductivity is formed by sputtering a plurality of different zinc oxide film, to adjust the carrier density of the film for each zinc oxide film, the amount of impurities (Al, or Ga, or the like) which are doped differently forming each zinc oxide film by using a zinc oxide target.【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の成膜方法で導電率が異なる薄膜を形成する場合、複数の物質（酸化亜鉛と、酸化亜鉛とは導電率が異なる物質と）を準備したり、不純物含有量が異なる複数の酸化亜鉛ターゲットを準備したりする必要があるため、材料コストの増大、又は製造工程数の増大等が生じ、電子デバイスが高コスト化するという問題があった。 [0003] The present invention is, however, if the conductivity in a conventional film forming method to form a different film, a plurality of substances (zinc oxide, conductivity and zinc oxide and different materials) to preparation or, the impurity content is necessary or to prepare a plurality of different zinc oxide target, increase of the material cost, or the number of manufacturing steps increases and the like occur, there is a problem that the electronic device is a high cost It was.【０００４】図５は、ＲＦスパッタリング装置を用いてガラス基板に酸化亜鉛膜を２００ｎｍ形成する場合、ノンドープの酸化亜鉛（９９．９９％）をターゲットとして用い、また、放電ガスとしてＡｒガスと酸素ガスとを用いたときの放電ガス中の酸素流量比と酸化亜鉛膜の導電率との関係を示すグラフである。 [0004] Figure 5 is a case of 200nm forming a zinc oxide film on a glass substrate using a RF sputtering apparatus, using non-doped zinc oxide (99.99%) as a target, also, Ar gas and oxygen gas as a discharge gas DOO is a graph showing the relationship between oxygen flow ratio and the conductivity of the zinc oxide film in the discharge gas when using.成膜条件は、基板温度３００℃、圧力０．５Ｐａ、ＲＦパワー密度１０Ｗ／ Deposition conditions, the substrate temperature of 300 ° C., pressure 0.5 Pa, RF power density 10 W /ｃｍ 2であり、酸素流量比を０％〜１００％の間で変化させた。 cm 2, and was the oxygen flow rate ratio varied between 0% and 100%.図中横軸は、放電ガス中の酸素ガスの流量比（％）であり、縦軸は酸化亜鉛膜の導電率（Ｓ／ｃｍ） Abscissa, the flow ratio of the oxygen gas in the discharge gas (%), and the conductivity of the vertical axis zinc oxide film (S / cm)である。 It is.【０００５】酸素流量比が０％の場合（Ａｒガスのみを放電ガスとして用いる場合）、酸化亜鉛膜の導電率は最も高く（１×１０ -2 Ｓ／ｃｍ超）、酸素流量比を０％から１０％まで増大させた場合、前記導電率は１×１０ -2 [0005] (case of using only the Ar gas as the discharge gas) when the oxygen flow ratio is 0%, the conductivity of the zinc oxide film is the highest (1 × 10 -2 S / cm greater), an oxygen flow rate ratio of 0% If the increased to 10%, the conductivity 1 × 10 -2Ｓ／ｃｍ超から約１×１０ -8 Ｓ／ｃｍへ急激に低下する。 Sharply decreases from S / cm greater to about 1 × 10 -8 S / cm.また、２５％まで増大させた場合は約１×１０ -9 Ｓ And when it is increased to 25% to about 1 × 10 -9 S／ｃｍに低下し、５０％まで増大させた場合は約１×１ It dropped to / cm, if it is increased by 50% to about 1 × 1０ -10 Ｓ／ｃｍに低下する。 It drops to 0 -10 S / cm.５０％から１００％まで増大させた場合、前記導電率は緩やかに低下し、１００％ If increased from 50% to 100%, the conductivity decreases gradually, 100%（酸素ガスのみを放電ガスとして用いる場合）で最も低くなる。 Becomes the lowest (if used only oxygen gas as a discharge gas).グラフから、放電ガス中の酸素ガスの流量比の増大（０％〜１００％）に伴い、導電率が低下（１×１ From the graph, with an increase in the flow ratio of the oxygen gas in the discharge gas (0% to 100%), electrical conductivity is reduced (1 × 1０ -2 Ｓ／ｃｍ超〜１×１０ -10 Ｓ／ｃｍ未満）することがわかる。 0 -2 S / cm super to 1 × 10 than -10 S / cm) for it can be seen.これは、酸化亜鉛膜中に酸素が多く含まれた場合、酸素欠陥に起因するドナーが減少して導電率が低下するためと考えられる。 This is because when the oxygen is contained much in the zinc oxide film, the conductivity donor due to oxygen defects is reduced is considered to decrease.【０００６】また、不純物がドーピングされた酸化亜鉛をターゲットとして用いる場合は、酸素ガスの流量比を変更しても導電率がほとんど変化しない。 [0006] In the case of using a zinc oxide doped with impurities as the target, the conductivity is not substantially changed even by changing the flow ratio of the oxygen gas.以上のような結果から、発明者らは、ノンドープの酸化亜鉛ターゲットを用い、放電ガス中の酸素ガスの分圧（ここでは流量比）を変更することによって、酸化亜鉛膜の導電率を容易に、また広範囲かつ高精度に変更できるという知見を得た。 From above results, the inventors used a non-doped zinc oxide target, by changing the (flow rate ratio in this case) the partial pressure of oxygen gas in the discharge gas, facilitates the conductivity of the zinc oxide film and also obtained a finding that can be changed in a wide range and with high accuracy.【０００７】本発明は、斯かる知見に基づいてなされたものであり、ノンドープの酸化亜鉛ターゲットを用い、 [0007] The present invention has been made based on such finding, using a non-doped zinc oxide target,スパッタ法によって酸化亜鉛膜を形成する場合に、放電ガス中の酸素ガスの分圧を変更することにより、材料コストを低減して、導電率が異なる酸化亜鉛膜を容易に成膜できる成膜方法を提供することを目的とする。 When forming a zinc oxide film by sputtering, by changing the partial pressure of the oxygen gas in the discharge gas, by reducing the material cost, the film formation method of the conductivity can be easily formed of different zinc oxide film an object of the present invention is to provide a.本発明の他の目的は、放電ガス中の酸素ガスの分圧を連続的に増減させることにより、導電率が膜厚方向に連続して変化する酸化亜鉛膜を容易に形成できる成膜方法を提供することにある。 Another object of the present invention, the partial pressure of the oxygen gas in the discharge gas can be continuously increased or decreased, the deposition method can easily form a zinc oxide film conductivity varies continuously in the thickness direction It is to provide.本発明の他の目的は、放電ガス中の酸素ガスの分圧の増加と減少とを反復させることにより、容易に、導電率が低い酸化亜鉛膜と高い酸化亜鉛膜とを交互に積層できる成膜方法を提供することにある。 Another object of the present invention, the discharge decreases and by repeating the increase in the partial pressure of oxygen in the gas, easily formed which can be laminated conductivity and low zinc oxide film and the high zinc oxide film alternately It is to provide a membrane process.本発明の更に他の目的は、放電ガス中の酸素ガスの分圧を連続的に減少させて酸化亜鉛膜を成膜することにより、材料コストを低減して、導電率が、基板側から膜圧方向へ連続して増加する酸化亜鉛膜を備える半導体装置を容易に形成できる半導体装置の製造方法を提供することにある。 Still another object of the present invention, by forming the zinc oxide film the partial pressure of the oxygen gas in the discharge gas continuously reduced, by reducing the material cost, electrical conductivity, the film from the substrate side It is to provide a method of manufacturing a semiconductor device capable of easily forming a semiconductor device comprising a zinc oxide film sequentially increasing the pressure direction.【０００８】 【課題を解決するための手段】第１発明に係る成膜方法は、スパッタ法によって酸化亜鉛膜を形成する成膜方法において、ターゲットとしてノンドープの酸化亜鉛を用い、放電ガスとして不活性ガス、酸素ガス、又は不活性ガスと酸素ガスとの混合ガスを用い、成膜中に酸素ガスの分圧を増減させることを特徴とする。 [0008] [Means for Solving the Problems] film forming method according to the first invention is a film forming method for forming a zinc oxide film by sputtering, using a zinc oxide doped as a target, inert as a discharge gas gas, a mixed gas of oxygen gas, or an inert gas and oxygen gas, and wherein the increasing or decreasing the partial pressure of oxygen gas during film formation.【０００９】第１発明にあっては、酸化亜鉛膜を成膜している時の放電ガス中の酸素ガスの分圧に応じて、成膜された酸化亜鉛膜の導電率が変化するため、ノンドープの酸化亜鉛のみをターゲットの材料として用い、放電ガス中の酸素ガスの分圧を変更することによって酸化亜鉛膜内の導電率を調整することができる。 [0009] In the first invention, according to the partial pressure of the oxygen gas in the discharge gas for the formation of the zinc oxide film, the conductivity of the formed zinc oxide film is changed, using only zinc oxide doped as a material of the target, it is possible to adjust the conductivity of the zinc oxide film by changing the partial pressure of the oxygen gas in the discharge gas.即ち、酸化亜鉛のみを用いるため材料コストを低減することができ、ターゲットを交換する必要がないため製造工程数を減少させることができ、酸素ガスの分圧を変更することによって導電率を調整できるため導電率が異なる酸化亜鉛膜を容易に形成することができる。 That is, it is possible to reduce the material cost for using only zinc oxide, it is not necessary to replace the target can reduce the number of manufacturing steps can be adjusted the conductivity by varying the partial pressure of the oxygen gas the conductivity is different zinc oxide film can be easily formed for.以上のようにして、酸化亜鉛膜を用いてなる電子デバイスが高コスト化を防止することができ、また、前記電子デバイスを設計する場合の自由度を向上させることができる。 As described above, can be an electronic device obtained by using the zinc oxide film to prevent high cost, also can improve the degree of freedom in designing the electronic device.なお、放電ガス中の酸素ガスの分圧を１００％にした場合、放電ガスは酸素ガスのみで構成され、酸素ガスの分圧を０％にした場合、放電ガスは不活性ガスのみで構成される。 Note that when the partial pressure of oxygen gas in the discharge gas to 100%, the discharge gas is composed of only an oxygen gas, when the partial pressure of the oxygen gas to 0%, the discharge gas is composed only of the inert gas that.【００１０】第２発明に係る成膜方法は、前記分圧を連続的に増減させることを特徴とする。 [0010] film-forming method according to the second invention is characterized in that to continuously increase or decrease the partial pressure.第２発明にあっては、酸化亜鉛膜を成膜している時の放電ガス中の酸素ガスの分圧を連続的に増加させた場合、成膜された酸化亜鉛膜の導電率が連続的に減少し、前記分圧を連続的に減少させた場合、前記導電率が連続的に増大するため、導電率が膜厚方向に連続して変化する酸化亜鉛膜を容易に形成することができる。 In the second aspect, when the partial pressure of oxygen gas in the discharge gas continuously increased for the formation of the zinc oxide film, the conductivity continuously of the formed zinc oxide film decreased, if the partial pressure was continuously reduced, since the conductivity increases continuously, the zinc oxide film conductivity varies continuously in the thickness direction can be easily formed .このため、例えばＬＤＤ（Ｌｉ For this reason, for example LDD (Liｇｈｔｌｙ Ｄｏｐｅｄ Ｄｒａｉｎ）／半導体膜（活性層）構造の積層膜を、低コストで容易に形成することができる。 The ghtly Doped Drain) / semiconductor layer (active layer) structure laminated film can be easily formed at low cost.【００１１】第３発明に係る成膜方法は、前記分圧を交互に増加／減少させることを特徴とする。 [0011] film-forming method according to the third invention is characterized by increasing / decreasing the partial pressure alternately.第３発明にあっては、例えば、放電ガス中の酸素ガスの分圧を高くして第１酸化亜鉛膜を成膜し、次いで、前記分圧を低くして、第１酸化亜鉛膜上に第２酸化亜鉛膜を成膜する。 In the third aspect, for example, a first zinc oxide film is formed by increasing the partial pressure of oxygen gas in the discharge gas, then lower the partial pressure, on the first zinc oxide film depositing a second zinc oxide film.この場合、第１酸化亜鉛膜は第２酸化亜鉛膜より導電率が低い。 In this case, the first zinc oxide film is lower conductivity than the second zinc oxide layer.このようにして、導電率が高い酸化亜鉛膜と低い酸化亜鉛膜とを交互に、容易に積層することができるため、導電率が異なる酸化亜鉛膜の積層構造を、低コストで容易に形成することができる。 In this manner, the conductivity and the high zinc oxide film and a low zinc oxide film alternately, it is possible to easily laminated, the laminated structure of conductivity different zinc oxide film is easily formed at a low cost be able to.【００１２】第４発明に係る半導体装置の製造方法は、 A method of manufacturing a semiconductor device according to the fourth invention,基板上に酸化亜鉛膜をスパッタ法によって積層し、ソース電極、ドレイン電極、及びゲート電極を設ける半導体装置の製造方法において、ターゲットとしてノンドープの酸化亜鉛を用い、放電ガスとして不活性ガス、酸素ガス、又は不活性ガスと酸素ガスとの混合ガスを用い、まず、酸素ガス又は前記混合ガスを放電ガスとして用いてスパッタ法によって第１酸化亜鉛膜の成膜を開始し、次いで、前記放電ガス中の酸素分圧を連続的に減少させながらスパッタ法によって第２酸化亜鉛膜の成膜を行ない、次に、該第２酸化亜鉛膜を分割する溝部を形成し、 Zinc oxide layer is deposited by sputtering on a substrate, a source electrode, a drain electrode, and a method of manufacturing a semiconductor device provided with a gate electrode, using a zinc oxide doped as a target, the inert gas as a discharge gas, oxygen gas, or a mixed gas of inert gas and oxygen gas, first, the formation of the first zinc oxide film is initiated by a sputtering method using oxygen gas or the mixed gas as discharge gas, then the discharge gas while the oxygen partial pressure is continuously reduced performs deposition of a second zinc oxide film by sputtering, then forming a groove which divides the second zinc oxide film,次いで、該溝部の上に絶縁層を介してゲート電極を設け、前記溝部を挟むようにして前記第２酸化亜鉛膜上にソース電極及びドレイン電極を設けることを特徴とする。 Then, a gate electrode is provided via an insulating layer on the groove portion, the so as to sandwich the groove and providing a source electrode and a drain electrode on the second zinc oxide layer.【００１３】第４発明にあっては、第１酸化亜鉛膜の形成後、第２発明の成膜方法を用いて放電ガス中の酸素分圧を連続的に減少させながら第２酸化亜鉛膜を成膜するため、半導体装置を形成する場合に、第２発明の効果を得ることができる。 [0013] In the fourth aspect, after forming the first zinc oxide film, a second zinc oxide film while continuously reducing the oxygen partial pressure in the discharge gas by using a film forming method of the second invention for depositing can be a case of forming a semiconductor device, obtain the effect of the second invention.即ち、材料コストを低減して、導電率が、基板側から膜圧方向へ連続して増加する酸化亜鉛膜を備える半導体装置を容易に形成することができる。 That is, it is possible to reduce material costs, conductivity, readily form a semiconductor device having a zinc oxide film sequentially increasing the film thickness direction from the substrate side.また、放電ガス中の酸素分圧を連続的に減少させることによって、第２酸化亜鉛膜の導電率は、基板側から膜圧方向へ連続的に増大する。 Moreover, by continuously decreasing the oxygen partial pressure in the discharge gas, the conductivity of the second zinc oxide film is continuously increased from the substrate side to the film thickness direction.このため、導電率が高い第２ Accordingly, conductivity is high second酸化亜鉛膜のソース電極側及びドレイン電極側の領域を、ソース領域及びドレイン領域として作用させることができ、前記領域よりも導電率が低い第２酸化亜鉛膜の第１酸化亜鉛膜側の領域を、ＬＤＤ領域として作用させることができる。 The area of ​​the source electrode side and the drain electrode side of the zinc oxide film, can act as a source region and a drain region, a region of the first zinc oxide film side of lower conductivity than the region second zinc oxide film it can act as an LDD region.なお、放電ガス中の酸素ガスの分圧を１００％にした場合、放電ガスは酸素ガスのみで構成され、酸素ガスの分圧を０％にした場合、放電ガスは不活性ガスのみで構成される。 Note that when the partial pressure of oxygen gas in the discharge gas to 100%, the discharge gas is composed of only an oxygen gas, when the partial pressure of the oxygen gas to 0%, the discharge gas is composed only of the inert gas that.【００１４】 【発明の実施の形態】以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Hereinafter, will be described in detail the present invention based on the drawings illustrating an embodiment thereof.本実施の形態にあっては、公知のＲＦスパッタリング装置を用いてガラス基板に酸化亜鉛膜を成膜する。 In the present embodiment, forming the zinc oxide film on a glass substrate by using a known RF sputtering apparatus.ターゲットとしてはノンドープの酸化亜鉛（９９．９９％）を用い、放電ガスとしては酸素ガスとＡｒガスとを用いる。 As a target used undoped zinc oxide (99.99%), using oxygen gas and Ar gas as a discharge gas.成膜条件は、基板温度３００℃、圧力０．５Ｐａ、ＲＦパワー密度１０Ｗ／ Deposition conditions, the substrate temperature of 300 ° C., pressure 0.5 Pa, RF power density 10 W /ｃｍ 2である。 It is cm 2.また、酸素ガスの分圧は、Ａｒガスと酸素ガスとの流量比を変更することによって調整する。 Also, the partial pressure of oxygen gas is adjusted by changing the flow ratio of Ar gas and oxygen gas.【００１５】実施の形態 １． [0015] Embodiment 1.図１及び図２は、本発明の実施の形態１に係る成膜方法を用いてＬＤＤ／半導体膜構造の積層膜を有するＦＥＴを形成する場合の説明図である。 Figures 1 and 2 are explanatory views of a case of forming a FET having a laminated film of LDD / semiconductor film structures using the film forming method according to the first embodiment of the present invention.放電ガス中の酸素ガスの流量比を３％にし、ガラス基板１０の一面に、膜厚２００ｎｍの酸化亜鉛半導体膜１１を形成する（図１（ａ））。 The flow ratio of oxygen gas in the discharge gas to 3%, on a surface of the glass substrate 10 to form a zinc oxide semiconductor film 11 having a thickness of 200 nm (Figure 1 (a)).続いて、放電をオフにすることなく酸素ガスの流量比を３％から０％（即ち、放電ガスはＡｒガスのみ）まで連続的に減少させて、酸化亜鉛半導体膜１１上に膜厚１０ｎｍのＬＤＤ／ Subsequently, 0% flow ratio of 3% oxygen gas without turning off the discharge (i.e., the discharge gas is Ar gas only) continuously decreased until the thickness of 10nm on the zinc oxide semiconductor film 11 LDD /ソース・ドレイン膜１２を形成する（図１（ｂ））。 Forming the source and drain film 12 (Figure 1 (b)).次いで、希塩酸を用いてエッチングを行ない、ＬＤＤ／ソース・ドレイン膜１２の一部を除去することにより、溝部１２ａを形成する（図１（ｃ））。 Then, etching was carried out with dilute hydrochloric acid, by removing a portion of the LDD / drain film 12, forming the groove 12a (FIG. 1 (c)).【００１６】ＬＤＤ／ソース・ドレイン膜１２上及び溝部１２ａ内に、プラズマＣＶＤ法によってＳｉＮを堆積し、膜厚５００ｎｍの絶縁膜１３０を形成し（図２ [0016] LDD / drain film 12 and the groove portion 12a, SiN is deposited by plasma CVD method, an insulating film 130 having a thickness of 500 nm (FIG. 2（ａ））、ＬＤＤ／ソース・ドレイン膜１２上の絶縁膜１３０のみをエッチングによって除去して溝部１２ａを底部とする絶縁層１３を形成する（図２（ｂ））。 (A)), LDD / source only the insulating film 130 of the drain film 12 is formed an insulating layer 13, the bottom was in the groove 12a is removed by etching (Figure 2 (b)).最後に、ＬＤＤ／ソース・ドレイン膜１２上及び絶縁層１３ Finally, LDD / drain film 12 and the insulating layer 13上にＡｌ膜を形成することによって、ＬＤＤ／ソース・ By forming an Al film on, LDD / Sourceドレイン膜１２上にソース電極１４１及びドレイン電極１４３を形成し、絶縁層１３上にゲート電極１４２を形成する（図２（ｃ））。 Forming a source electrode 141 and drain electrode 143 on the drain layer 12, a gate electrode 142 on the insulating layer 13 (FIG. 2 (c)).【００１７】以上のような成膜方法によれば、ｎ -型の酸化亜鉛半導体膜１１上に、酸素ガスの流量比を３％から０％まで連続的に減少させて酸化亜鉛半導体膜を成膜することによって、ｎ -型からｎ +型へ連続的に変化するＬＤＤ／ソース・ドレイン膜１２を容易に積層することができる。 [0017] According to above film forming method, such as, n - on the type of zinc oxide semiconductor film 11, the flow ratio of the oxygen gas from 3% to 0% continuously decreased formation of zinc oxide semiconductor film by film, n - a LDD / drain film 12 continuously changes from the mold to the n + -type can be easily laminated.また、酸素ガスの流量比を連続的に減少させて成膜するため、ＬＤＤ／ソース・ドレイン膜１２ Further, for forming continuously decreasing the flow rate of the oxygen gas, LDD / drain film 12は、導電率が、基板側から膜圧方向へ連続的に増大する。 Is conductivity, continuously increases from the substrate side to the film thickness direction.このため、ＬＤＤ／ソース・ドレイン膜１２のソース電極１４１側及びドレイン電極１４３側の領域は導電率が高く、ソース領域及びドレイン領域として作用し、 Therefore, the region of the source electrode 141 side and the drain electrode 143 side of the LDD / drain film 12 is a high conductivity, acts as a source region and a drain region,ＬＤＤ／ソース・ドレイン膜１２の酸化亜鉛半導体膜１ Zinc oxide of LDD / source-drain film 12 semiconductor film 1１側の領域は、ソース領域及びドレイン領域よりも導電率が低く、ＬＤＤ領域として作用する。 1 side of the region, conductivity than the source region and the drain region is low, it acts as an LDD region.即ち、ＬＤＤ／ In other words, LDD /半導体膜構造の積層膜を有するＦＥＴを低コストで、また容易に形成することができる。 The FET having a laminated film of the semiconductor film structure at a low cost and can be easily formed.【００１８】以上のようにして形成されたＦＥＴは、Ｌ [0018] The above FET, which is formed in the manner of, LＤＤ／半導体膜構造によってドレイン電極近傍の電界を緩和することができ、ホットエレクトロンによるＦＥＴ DD / semiconductor film can be relaxed electric field near the drain electrode by the structure, FET by hot electronの性能劣化（高速に加速されたキャリアが絶縁層１３中に注入され、固定電荷となること）を防止できる。 Performance degradation (carriers accelerated at high speed are implanted into the insulating layer 13, be a fixed charge) it can be prevented.【００１９】実施の形態 ２． [0019] Embodiment 2.図３は、本発明の実施の形態２に係る成膜方法を用いて導電率が異なる酸化亜鉛膜の多層膜を形成する場合の説明図である。 Figure 3 is an explanatory diagram of the case where the conductivity to form a multilayer film of different zinc oxide film by using a film forming method according to a second embodiment of the present invention.酸素ガスの流量比を１００％にして（即ち、酸素ガスのみを放電ガスとして用いて）、ガラス基板２０の一面に、膜厚１０ Flow ratio of the oxygen gas was 100% (i.e., only oxygen gas used as a discharge gas), on one surface of the glass substrate 20, a thickness 10０Åの第１酸化亜鉛膜２１を形成する（図３（ａ））。 Forming a first zinc oxide film 21 of 0 Å (Figure 3 (a)).続いて、放電をオフにし、酸素ガスの流量比を０％に減少させて（即ち、Ａｒガスのみを放電ガスとして用いて）、放電を再開し、第１酸化亜鉛膜２１上に膜厚１０ Subsequently, discharging was off and the flow rate of oxygen gas is reduced to 0% (i.e., by using only Ar gas as the discharge gas), the discharge resumed, thickness 10 on the first zinc oxide film 21０Åの第２酸化亜鉛膜２２を積層する（図３（ｂ））。 Laminating a second zinc oxide film 22 of 0 Å (Figure 3 (b)).同様にして、第１酸化亜鉛膜２１と第２酸化亜鉛膜２２ Similarly, the first zinc oxide film 21 and the second zinc oxide film 22とを交互に積層する（図３（ｃ））。 Preparative alternately laminating (Figure 3 (c)).【００２０】以上のような成膜方法によって形成された多層膜は、高抵抗の第１酸化亜鉛膜２１と低抵抗の第２ The above multilayer film formed by a deposition method as the second and first zinc oxide film 21 of the high resistance of the low resistance酸化亜鉛膜２２とが積層してなる。 A zinc oxide film 22 is formed by laminating.このため、第２酸化亜鉛膜２２，２２，…は、第１酸化亜鉛膜２１，２１， Therefore, the second zinc oxide films 22 and 22, ..., the first zinc oxide film 21 and 21,…によって夫々絶縁されている。 ... it is respectively insulated by.【００２１】図４は、前記成膜方法で形成された多層膜の模式図である。 [0021] FIG. 4 is a schematic view of a multilayer film formed by the film forming method.図中２は、電気伝導に寄与する電子である。 Figure 2 is an electron contributes to electric conduction.該電子２は、該電子２が位置する第２酸化亜鉛膜２２の内部を移動し、第１酸化亜鉛膜２１を通過して他の第２酸化亜鉛膜２２へ移動することがない。 Electronic 2 moves inside the second zinc oxide film 22 electronic 2 is located, does not move to the other of the second zinc oxide film 22 through the first zinc oxide film 21.即ち、電子２，２，…を各第２酸化亜鉛膜２２内に閉じこめることができ、不純物散乱による移動度の低下を防止できる。 That is, the electronic 2,2, ... to be able to confine each in the second zinc oxide film 22, it is possible to prevent deterioration of mobility due to impurity scattering.このため、前記多層膜は高電子移動度を有する。 Therefore, the multilayer film has a high electron mobility.即ち、本実施の形態の成膜方法は、導電率が異なる多層膜を備えるため高電子移動度を有する電子デバイス（例えばＴＦＴ）を、低コストで、また容易に形成することができる。 That is, the film forming method of this embodiment, since the conductivity comprise different multi-layer electronic device having a high electron mobility (e.g. TFT), at low cost and can be easily formed.【００２２】なお、実施の形態１及び２では、ＲＦスパッタリング装置を用い、放電ガスとして酸素ガスとＡｒ [0022] In the first and second embodiments, an RF sputtering apparatus, oxygen gas and Ar as the discharge gasガスとを用いたが、ＤＣスパッタリング装置、ＥＣＲスパッタリング装置、又はヘリコンプラズマ波スパッタリング装置等を用い、放電ガスとして、酸素ガスとＨｅガス、Ｎｅガス、又はＫｒガス等の希ガスとを用いても良い。 Was used and gas, DC sputtering apparatus, ECR sputtering device, or using helicon plasma wave sputtering apparatus or the like, as a discharge gas, oxygen gas and He gas, Ne gas, or even by using a rare gas such as Kr gas good.また、本発明の成膜方法を、透光性を有する薄膜トランジスタ、光センサ、又は圧電体等の電子デバイスを形成する場合に用いても良い。 Further, the deposition method of the present invention, a thin film transistor having a light transmitting property, light sensors, or may be used in the case of forming an electronic device of the piezoelectric body or the like.【００２３】 【発明の効果】本発明の成膜方法によれば、材料コストを低減して、導電率が異なる酸化亜鉛膜を容易に成膜することができる。 [0023] According to the film formation method of the present invention, it is possible to reduce material costs, conductivity is easily formed of different zinc oxide film.また、導電率が膜厚方向に連続して変化する酸化亜鉛膜を形成することができる。 Further, it is possible to conductivity to form a zinc oxide film changes continuously in the thickness direction.更に、導電率が低い酸化亜鉛膜と高い酸化亜鉛膜とを交互に積層することができる。 Furthermore, conductivity and low zinc oxide film and the high zinc oxide film may be laminated alternately.また、本発明の半導体装置の製造方法によれば、材料コストを低減して、導電率が膜厚方向に連続して変化する酸化亜鉛膜を備える半導体装置を容易に形成できる等、本発明は優れた効果を奏する。 According to the manufacturing method of the semiconductor device of the present invention, by reducing the material cost, etc. conductivity can be easily formed a semiconductor device comprising a zinc oxide film changes continuously in the thickness direction, the present invention is It exhibits an excellent effect.

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の実施の形態１に係る成膜方法の説明図である。 It is an illustration of a film forming method according to the first embodiment of the BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS [Figure 1] present invention.【図２】本発明の実施の形態１に係る成膜方法の説明図である。 FIG. 2 is an explanatory view of a film deposition method according to the first embodiment of the present invention.【図３】本発明の実施の形態２に係る成膜方法の説明図である。 3 is an explanatory view of a film deposition method according to the second embodiment of the present invention.【図４】本発明の実施の形態２に係る成膜方法で形成された多層膜の模式図である。 4 is a schematic view of a multilayer film formed by the film forming method according to the second embodiment of the present invention.【図５】放電ガス中の酸素流量比と酸化亜鉛膜の導電率との関係を示すグラフである。 5 is a graph showing the relationship between the conductivity of the flow rate ratio of oxygen in the discharge gas and the zinc oxide film.【符号の説明】 １１ 酸化亜鉛半導体膜１２ ＬＤＤ／ソース・ドレイン膜２１ 第１酸化亜鉛膜２２ 第２酸化亜鉛膜 [EXPLANATION OF SYMBOLS] 11 zinc oxide semiconductor film 12 LDD / drain film 21 first zinc oxide film 22 and the second zinc oxide film

Claims (1)

Translated from Japanese

【特許請求の範囲】 【請求項１】 スパッタ法によって酸化亜鉛膜を形成する成膜方法において、 ターゲットとしてノンドープの酸化亜鉛を用い、放電ガスとして不活性ガス、酸素ガス、又は不活性ガスと酸素ガスとの混合ガスを用い、成膜中に酸素ガスの分圧を増減させることを特徴とする成膜方法。 A film forming method for forming a zinc oxide film by the Patent Claims 1. A sputtering using a zinc oxide doped as a target, the inert gas as a discharge gas, oxygen gas, or an inert gas and oxygen using a mixed gas of the gas, film formation method characterized by increasing or decreasing the partial pressure of oxygen gas during film formation.【請求項２】 前記分圧を連続的に増減させることを特徴とする請求項１に記載の成膜方法。 2. A film forming method according to claim 1, characterized in that to continuously increase or decrease the partial pressure.【請求項３】 前記分圧を交互に増加／減少させることを特徴とする請求項１に記載の成膜方法。 3. A film forming method according to claim 1, characterized in that increasing / decreasing alternately the partial pressure.【請求項４】 基板上に酸化亜鉛膜をスパッタ法によって積層し、ソース電極、ドレイン電極、及びゲート電極を設ける半導体装置の製造方法において、 ターゲットとしてノンドープの酸化亜鉛を用い、放電ガスとして不活性ガス、酸素ガス、又は不活性ガスと酸素ガスとの混合ガスを用い、まず、酸素ガス又は前記混合ガスを放電ガスとして用いてスパッタ法によって第１酸化亜鉛膜の成膜を開始し、次いで、前記放電ガス中の酸素分圧を連続的に減少させながらスパッタ法によって第２酸化亜鉛膜の成膜を行ない、次に、該第２酸化亜鉛膜を分割する溝部を形成し、次いで、該溝部の上に絶縁層を介してゲート電極を設け、前記溝部を挟むようにして前記第２酸化亜鉛膜上にソース電極及びドレイン電極を設けることを特徴とする半導体 The 4. A zinc oxide film on the substrate was deposited by sputtering, a source electrode, a drain electrode, and a method of manufacturing a semiconductor device provided with a gate electrode, using a zinc oxide doped as a target, inert as a discharge gas gas, a mixed gas of oxygen gas, or an inert gas and oxygen gas, first, the formation of the first zinc oxide film is initiated by sputtering an oxygen gas or the mixed gas used as a discharge gas and then, wherein while the oxygen partial pressure in the discharge gas to reduce continuously subjected to deposition of the second zinc oxide film by sputtering, then forming a groove which divides the second zinc oxide film, and then, the groove portion semiconductor, wherein a gate electrode is provided via an insulating layer, providing a source electrode and a drain electrode on the second zinc oxide layer so as to sandwich said groove portion on the置の製造方法。 Method of manufacturing location.