高品質γ-Ti<sub>3</sub>O<sub>5</sub>薄膜の合成と超伝導特性高品質γ-Ti<sub>3</sub>O<sub>5</sub>薄膜の合成と超伝導特性Growth of high-quality γ-Ti<sub>3</sub>O<sub>5</sub> films and their superconducting properties高品質γ-Ti<sub>3</sub>O<sub>5</sub>薄膜の合成と超伝導特性