The invention concerns a method which consists in pumping the gases present in a transfer chamber (1) using a primary pump (3) driven by variable speed driving means, mounted in series with a turbomolecular secondary pump (6), and associated with gas controlling means (8, 10, 13, 16) to control one or...http://www.google.com.mx/patents/EP1194610A1?cl=en&utm_source=gb-gplus-sharePatent EP1194610A1 - Method and system for pumping semiconductor equipment from transfer chambers

Method and system for pumping semiconductor equipment from transfer chambersEP 1194610 A1(text from WO2001081651A1)

Abstract

The invention concerns a method which consists in pumping the gases present in a transfer chamber (1) using a primary pump (3) driven by variable speed driving means, mounted in series with a turbomolecular secondary pump (6), and associated with gas controlling means (8, 10, 13, 16) to control one or several appropriate characteristic parameters of the pumped gases and to produce control signals acting on the means driving the primary pump (3) to adapt its pumping speed so as to avoid any condensation or solidification in the airlock or transfer chamber (1). Thus the pressure drop speed can be optimised thereby reducing pollution introduced into the process chamber (2).

7 - Système de pompage de gaz selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la pompe secondaire turbomoléculaire (6) est d'un type robuste capable de fonctionner dès le début de l'étape de pompage en refoulant les gaz à la pression atmosphérique, de sorte qu'elle n'est associée à aucune canalisation de dérivation pour démarrage du pompage et qu'elle constitue le seul élément de pompage raccordé à la chambre de transfert (1) . 7 - gas pumping system according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the turbomolecular secondary pump (6) is of a type capable of robust function at the beginning of the step of pumping back the gas at atmospheric pressure, so that it is not associated with any bypass line to start pumping and it is the only pumping element connected to the transfer chamber (1).

Dans la chambre de procédés, l'atmosphère doit être contrôlée pour éviter la présence de toute impureté et de toute pollution. In the process chamber, the atmosphere must be controlled to avoid the presence of impurities and pollution.Pour cela, le substrat doit arriver dans la chambre de procédés dans un état de pureté satisfaisant. For this, the substrate must happen in the process chamber in a satisfactory state of purity.

Dans le document EP 0 385 709 A, on prévoit des vannes commandées pour limiter les flux d'entrée et de sortie d'air dans la chambre de procédés afin de réduire le risque de pollution résultant du détachement de particules préalablement déposées sur les parois de la chambre de procédés. In EP 0385709 A, provides controlled valves to limit the entry and exit of air into the process chamber in order to reduce the risk of pollution resulting from the detachment of particles previously deposited on the walls of flow the process chamber.

Dans le document US 4 379 743 A, on évite la transmission d'impuretés depuis une chambre de prétraitement vers une chambre de traitement en établissant une surpression différentielle gazeuse dans la chambre de traitement après le prétraitement d'un substrat. In US 4,379,743 A paper avoids the transmission of impurities from a pretreatment chamber to a processing chamber in establishing a differential gas pressure in the processing chamber after the pretreatment of a substrate.

Dans les installations connues, lorsqu'on utilise une pompe primaire sèche à vitesse variable de pompage des gaz de la chambre de transfert, on détermine la vitesse de pompage pour atteindre la pression appropriée à l'issue d'une durée de conditionnement qui ne retarde pas le transfert du substrat dans la chambre de procédés. In known systems, when using a dry primary variable speed pumping chamber gas transfer pump, the pumping speed is determined to achieve the proper pressure at the end of a period of conditioning that would delay not transferring the substrate in the process chamber.Toutefois, le conditionnement du substrat est souvent insuffisant, et l'on constate l'apparition de pollution et d'impuretés dans la chambre de procédés. However, the conditioning of the substrate is often inadequate, and there is the appearance of pollution and impurities in the process chamber.

EXPOSE DE L'INVENTION Un but de l'invention est d'éviter de façon plus efficace l'introduction d'impuretés et de pollution dans la chambre de procédés . SUMMARY OF THE INVENTION An object of the invention is to prevent more effectively the introduction of impurities and pollution in the process chamber.

Egalement, lors de la descente en pression de l'atmosphère dans le sas ou la chambre de transfert, il se produit nécessairement un dégazage du substrat, et il est important que ce dégazage soit suffisant avant que le substrat soit introduit dans la chambre de procédés. Also, when lowering the pressure of the atmosphere in the airlock or the transfer chamber, there is necessarily a degassing of the substrate, and it is important that it is sufficient degassing before the substrate is introduced into the process chamber .A défaut de cela, le dégazage se poursuit dans la chambre de procédés et les gaz provenant de ce dégazage postérieur constituent une source supplémentaire de pollution pendant le traitement. Failing that, degassing continues in the process chamber and the gas from the rear vent are an additional source of contamination during processing.Ainsi, l'invention a pour autre but d'améliorer le dégazage des substrats lors de leur conditionnement dans le sas ou la chambre de transfert, sans pour autant retarder le transfert du substrat dans la chambre de procédés. Thus, the invention has the further aim of improving the degassing substrates for packaging into the lock chamber or transfer without delay the transfer of the substrate in the process chamber.

Le contrôle permanent des gaz pompés par action sur la vitesse de la pompe permet d'une part d'éviter l'apparition de toute condensation ou solidification des gaz, et donc l'introduction de toute pollution dans la chambre de procédés. Ongoing monitoring of pumped action on gas pump speed allows one hand to avoid the appearance of condensation or solidification of gases and therefore the introduction of any pollution in the process chamber.Ce contrôle permet d'autre part d'éviter les risques de pollution supplémentaires et les complications liées à la présence de vannes de commande. This control allows the other to avoid the risk of further pollution and complications related to the presence of valves.Ce contrôle permet aussi d'optimiser la vitesse de descente en pression, pour atteindre la vitesse moyenne la plus rapide possible, de sorte que le temps de conditionnement n'est pas augmenté et qu'il devient même possible, dans le même temps de conditionnement, de descendre la pression à une valeur plus faible qui favorise le dégazage du substrat. This control also allows to optimize the speed of lowering the pressure, to achieve the fastest possible speed medium, so that the conditioning time is not increased and it is even possible at the same time conditioning , to lower the pressure to a lower value which promotes degassing of the substrate.

Les moyens de contrôle de gaz peuvent comprendre un capteur de température sensible à la température des gaz pompés, et/ou un analyseur de gaz. The control means may comprise a gas temperature sensor sensitive to the temperature of the pumped gas and / or a gas analyzer.

Une autre source de pollution est fréquemment la présence d'hydrocarbures. Another source of pollution is often the presence of hydrocarbons.Dans ce cas, l'analyseur de gaz peut être avantageusement adapté pour détecter et mesurer des raies d 'hydrocarbures . In this case, the gas analyzer may be advantageously adapted to detect and measure the lines of hydrocarbons.

Selon un mode de réalisation avantageux, le système de pompage de gaz peut comprendre en outre des moyens de mesure de la pression dans une chambre de procédés à laquelle est raccordée la chambre de transfert. According to one advantageous embodiment, the gas pumping system may further comprise means for measuring the pressure in a process chamber which is connected to the transfer chamber.On peut ainsi asservir la pression dans la chambre de transfert de manière à éviter ou à limiter le transfert de matières polluantes depuis la chambre de procédés vers la chambre de transfert. We can enslave the pressure in the transfer chamber to prevent or restrict the transfer of pollutants from the process chamber to the transfer chamber.On peut ainsi augmenter la vitesse de conditionnement du substrat suivant dans la même chambre de transfert, ce conditionnement n'étant pas perturbé par les pollutions provenant de la chambre de procédés . It can increase the speed of the following packaging substrate in the same room transfer this conditioning is not disrupted by pollution from the process chamber.

De préférence, la pompe secondaire turbomoléculaire peut être d'un type robuste capable de fonctionner dès le début de l'étape de pompage en refoulant les gaz à la pression atmosphérique. Preferably, the turbomolecular secondary pump may be of a type capable of robust function at the beginning of the step of pumping back the gas at atmospheric pressure.De la sorte, la pompe turbomoléculaire n'est associée a aucune canalisation de dérivation pour démarrage du pompage, et elle constitue le seul élément de pompage raccordé à la chambre de transfert. In this way, the turbo pump is associated with no bypass line to start pumping, and it is the only pumping element connected to the transfer chamber.On réduit ainsi les risques de pollution de l'atmosphère dans la chambre de transfert, et donc dans la chambre de procédés. The risks of air pollution in the transfer chamber is reduced, and thus in the process chamber.

Dans un procédé de pompage des gaz selon 1 ' invention, dans une chambre de transfert de semi-conducteurs vers une chambre de procédés, on adapte la vitesse de la pompe primaire qui extrait les gaz hors de la chambre de transfert en fonction d'un ou plusieurs paramètres caractéristiques des gaz pompés, de manière à éviter ou à limiter la condensation ou la solidification des gaz dans la chambre de transfert. In a method of pumping gas as one invention in a transfer chamber to a semiconductor process chamber, the speed of the primary pump which extracts the gas out of the room transfer function is adapted from a or more characteristics of pumped, so as to avoid or minimize condensation or solidification of gas in the gas chamber transfer parameters.

Avantageusement, on peut optimiser la vitesse de la pompe pour atteindre la pression appropriée en un temps plus court, et poursuivre le pompage jusqu'à atteindre et maintenir momentanément, par exemple jusqu'à la fin de la durée de conditionnement, une pression résiduelle inférieure à la pression appropriée de fonctionnement de la chambre de transfert, favorisant ainsi le dégazage du substrat. Advantageously, it is possible to optimize the speed of the pump to achieve the appropriate time in a shorter pressure and continue pumping until achieve and maintain momentarily, for example up to the end of the conditioning time, a residual pressure of less the appropriate operating pressure of the transfer chamber, thus promoting the degassing of the substrate.Par l'analyse des gaz pompés au moyen d'un analyseur de gaz, on peut contrôler simultanément l'atmosphère de la chambre de procédés. By analyzing pumped through a gas analyzer gas, can simultaneously control the atmosphere of the process chamber.

DESCRIPTION SOMMAIRE DES DESSINS D'autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description suivante de modes de réalisation particuliers, faite en relation avec les figures jointes, parmi lesquelles: BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Other objects, features and advantages of the present invention will become apparent from the following description of specific embodiments when taken in conjunction with the accompanying drawings in which:

D'excellents résultats ont été obtenus en utilisant une pompe secondaire turbomoléculaire 6 d'un type capable de fonctionner dès le début de l'étape de pompage en refoulant les gaz à la pression atmosphérique. Excellent results have been obtained using a turbomolecular secondary pump 6 of a type capable of operating at the beginning of the step of pumping back the gas at atmospheric pressure.Avantageusement, cette solution permet un gain de place, en termes de surface au sol, très intéressant. Advantageously, this solution saves space, in terms of floor space, very interesting.De la sorte, la pompe secondaire turbomoléculaire 6 n'est associée à aucune canalisation de dérivation pour le démarrage du pompage, en dehors de la vanne 7, et elle constitue le seul élément de pompage raccordé au sas ou à la chambre de transfert 1. On peut par exemple utiliser une pompe de référence ATH 30 vendue par la société ALCATEL. In this way, the secondary turbo pump 6 is not associated with any bypass line to start the pumping out of the valve 7, and it is the only element connected to the airlock pumping or transfer chamber 1. One can for example use a pump ATH reference 30 sold by the company Alcatel.Une telle pompe présente en outre l'avantage d'être peu encombrante,' de sorte que le système peut être placé à proximité immédiate de la chambre de transfert 1, ce qui simplifie toutes les liaisons électriques et les canalisations. Such a pump has the further advantage of being compact, 'so that the system can be placed in close proximity to the transfer chamber 1, thus simplifying all the electrical connections and lines.

Le système ainsi conçu est capable de descendre depuis la pression atmosphérique jusqu'à des pressions de l'ordre de 10 ~3 Pascal en une trentaine de secondes. The system is designed and capable of descending from atmospheric pressure up to pressures of the order of 10 -3 Pascal in about thirty seconds.La vitesse de pompage est asservie à la détente des gaz afin d'éviter tout phénomène de solidification ou de condensation dans le sas ou la chambre de transfert 1. Dans un procédé de pompage des gaz selon l'invention, dans un sas ou une chambre de transfert 1 de semi-conducteurs vers une chambre de procédés 2, on adapte la vitesse de pompage des gaz hors du sas ou de la chambre de transfert 1 en fonction d'un ou plusieurs paramètres caractéristiques des gaz pompés, de manière à éviter ou à limiter la condensation ou la solidification des gaz dans le sas ou la chambre de transfert 1. The pumping speed is controlled by the expansion of gases in order to avoid the phenomenon of solidification or condensation in the airlock chamber or transfer 1. In a method of pumping gas according to the invention in an airlock or chamber Transfer 1 semiconductor process chamber to a 2 speed pumping gas out of the chamber is adapted or transfer chamber 1 as a function of one or more characteristics of the pumped gas parameters, so as to avoid or to minimize condensation or solidification of gas into the chamber and the transfer chamber 1.