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C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR

C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating

C—CHEMISTRY; METALLURGY

C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR

C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR

C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating

C25D17/10—Electrodes, e.g. composition, counter electrode

C—CHEMISTRY; METALLURGY

C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR

C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR

C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating

C25D21/12—Process control or regulation

C—CHEMISTRY; METALLURGY

C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR

C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR

C25F3/00—Electrolytic etching or polishing

C25F3/02—Etching

C25F3/12—Etching of semiconducting materials

C—CHEMISTRY; METALLURGY

C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR

C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR

C25F7/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic removal of material from objects; Servicing or operating

Abstract

An electrochemical etching process has a high torque electric motor drive installed at a suitable high point within a high frame. The frame is located over a chemical vat receiving the appropriate chemical ingredients.

Antriebssystem nach Anspruch 1, wobei die Antriebsanordnung eine erste Führung, die mit der Kraftübertragung gekoppelt ist, und eine zweite Führung, die an einer weiteren Seitenwand des Rahmens angebracht ist, umfasst. Drive system according to claim 1, wherein the drive assembly includes a first guide which is coupled with the power transmission, and a second guide, which is attached to a further side wall of the frame.

Antriebssystem nach Anspruch 6, wobei die Steuereinheit ferner ausgebildet ist, die Antriebsanordnung auf der Grundlage eines von dem Positionssensor erhaltenen Positionssignals zu steuern. Drive system according to claim 6, wherein the control unit is further configured to control the drive assembly based on a position signal obtained from the position sensor.

Antriebssystem nach Anspruch 1, wobei die Kraftübertragung über einer Höhenposition des Substrats, wenn dieses in der vordefinierten Prozessposition gehalten ist, angeordnet ist. Drive system according to claim 1, wherein the power transmission is disposed above a height position of the substrate when it is held in the predefined process position.

Antriebssystem für eine Prozessanlage zum Ausführen elektrochemischer Prozesse mit: einem Rahmen, der ausgebildet ist, eine Substrathalterung aufzunehmen, die zum in Position halten eines Substrats an einer vordefinierten Prozesssituation im Inneren des Rahmens ausgestaltet ist; Drive system for a process plant for carrying out electrochemical processes, comprising: a frame which is adapted to accommodate a substrate holder, which keep in position is configured of a substrate at a predefined process situation in the interior of the frame;einer bewegbaren Elektrodenanordnung, die ausgebildet ist, um über die vordefinierte Prozesssituation entlang eines linearen Abtastwegs geführt zu werden; a movable electrode assembly is adapted to be guided over the predefined process situation along a linear scanning path;einer Antriebsanordnung mit einem ersten Elektromotor und einer ersten damit verbundenen Kraftübertragung, wobei die erste Kraftübertragung sich entlang einer ersten äußeren Seitenwand des Rahmens erstreckt und über einer Höhenposition des Substrats, wenn dieses sich in der vordefinierten Prozessposition befindet, angeordnet ist, wobei die Antriebsanordnung mit der bewegbaren Elektrodenanordnung verbunden ist; a drive assembly with a first electric motor and a first associated power transmission, wherein the first power transmission extends along a first outer side wall of the frame and is located above a height position of the substrate when this is in the predefined process position, wherein the drive assembly with the movable electrode array is connected;und einer Steuereinheit, die mit dem ersten Elektromotor verbunden und ausgebildet ist, den ersten Elektromotor auf der Grundlage eines Steuerungsschemas anzusteuern, um eine vordefinierte Abtastgeschwindigkeit entlang des linearen Abtastwegs lokal beizubehalten. and a control unit which is connected to the first electric motor and adapted to drive the first electric motor on the basis of a control scheme to maintain a predefined sampling rate along the linear scanning path locally.

Antriebssystem nach Anspruch 11, wobei die Antriebsanordnung ferner einen zweiten Elektromotor und eine zweite damit verbundene Kraftübertragung aufweist, wobei die zweite Kraftübertragung sich entlang einer zweiten äußeren Seitenwand des Rahmens erstreckt und über einer Höhenposition des Substrats, wenn dieses sich in der vordefinierten Prozessposition befindet, angeordnet ist. Drive system, arranged according to claim 11, wherein the drive assembly further comprises a second electric motor and a second associated power transmission, wherein the second power transmission extends along a second outer side wall of the frame and if it is above a height position of the substrate in the predefined process position is.

Antriebssystem nach Anspruch 12, das ferner einen ersten Positionssensor und einen zweiten Positionssensor aufweist, wobei der erste und der zweite Positionssensor entlang der ersten und der zweiten äußeren Seitenwand positioniert sind, um eine Absolutposition eines ersten Bereichs der bewegbaren Elektrodenanordnung, der mit der ersten Kraftübertragung verbunden ist, und eines zweiten Bereichs der bewegbaren Elektrodenanordnung, der mit der zweiten Kraftübertragung verbunden ist, zu bestimmen. Drive system according to claim 12, further comprising a first position sensor and second position sensor, wherein the first and the second position sensor along the first and the second outer side wall are positioned to an absolute position of a first region of the movable electrode assembly which is connected to the first power transmission , and a second region of the movable electrode assembly, which is connected to the second power transmission to determine.

Antriebssystem nach Anspruch 14, wobei die Steuereinheit ausgebildet ist, den ersten und den zweiten Elektromotor auf der Grundlage eines ersten Positionssignals, das von dem ersten Positionssensor erhalten wird, und eines zweiten Positionssignals, das von dem zweiten Positionssensor erhalten wird, zu steuern. Drive system according to claim 14, wherein the control unit is adapted to control the first and the second electric motor on the basis of which is obtained from the first position sensor a first position signal, and a second position signal, which is obtained from the second position sensor.

Elektrochemische Ätzprozessanlage nach Anspruch 18, die einen induktiven Positionssensor, der ausgebildet ist, ein Positionssignal bereitzustellen, das eine Absolutposition der bewegbaren Elektrodenanordnung angibt, und eine Steuereinheit umfasst, die mit dem Elektromotor und dem Positionssensor verbunden ist, wobei die Steuereinheit ausgebildet ist, den Elektromotor auf der Grundlage des Positionssignals zu steuern. Electrochemical Ätzprozessanlage according to claim 18, which comprises an inductive position sensor, which is designed to provide a position signal indicating an absolute position of the movable electrode assembly, and a control unit which is connected to the electric motor and the position sensor, wherein the control unit is adapted to the electric motor to control on the basis of the position signal.

Production of a semiconductor component used in microelectronics comprises dry etching a hole in the substrate of a component, lining the hole with an insulating layer, removing the insulating layer, and producing an electrical connection

Electroplating device used in the production of antenna coils, circuit boards and chip card modules comprises an electrolyte bath containing an anode unit and contact units each having electrically conducting regions