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H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR

H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate

H01L27/28—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including components using organic materials as the active part, or using a combination of organic materials with other materials as the active part

H01L27/32—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including components using organic materials as the active part, or using a combination of organic materials with other materials as the active part with components specially adapted for light emission, e.g. flat-panel displays using organic light-emitting diodes [OLED]

H01L27/3241—Matrix-type displays

H01L27/3244—Active matrix displays

H01L27/3246—Banks, i.e. pixel defining layers

H—ELECTRICITY

H01—BASIC ELECTRIC ELEMENTS

H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR

H01L51/00—Solid state devices using organic materials as the active part, or using a combination of organic materials with other materials as the active part; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of such devices, or of parts thereof

H01L51/50—Solid state devices using organic materials as the active part, or using a combination of organic materials with other materials as the active part; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of such devices, or of parts thereof specially adapted for light emission, e.g. organic light emitting diodes [OLED] or polymer light emitting devices [PLED];

有機ＥＬ素子の有機薄膜は、酸素または水分によって変質し劣化しやすく、このために有機ＥＬ素子の寿命が短いという問題がある。 The organic thin film of the organic EL element is easily altered by oxygen or moisture deterioration, lifetime of the organic EL elements to this there is a problem that short.有機薄膜の劣化は、酸素または水分が進入しやすい素子領域の周辺部で先に生じ、素子領域の中央では劣化が遅い。 Degradation of the organic thin film occurs earlier in the periphery of the oxygen or moisture enters easily element region, slow degradation in the center of the element region.このため、中央での発光素子がまだ発光可能であっても、周辺部の発光素子が発光不可能となるために、有機ＥＬ装置全体が使用不可能になる。 Therefore, even in the light-emitting element at the center still possible emission, to the light emitting element of the peripheral portion becomes impossible emission, the entire organic EL device unusable.（課題１） (Issue 1)

また有機薄膜の形成方法の一つである塗布法では、有機薄膜の材料（例えば機能性高分子）と溶媒とを含む溶液、すなわちインクを基板上に塗布し、これを乾燥させる。 In the coating method which is one method of forming an organic thin film, a solution containing a material of an organic thin film (e.g., functional polymer) and a solvent, i.e. the ink is applied to a substrate, and drying the.一般に、インクの乾燥速度は、基板の中央部よりも端部において速くなり易い。 Generally, the drying rate of the ink is liable to become faster at the ends than in the central portion of the substrate.その原因は、基板の端部付近の雰囲気における溶媒の濃度が、基板の中央部付近の雰囲気における溶媒の濃度よりも低くなることにある。 The reason the concentration of solvent in the atmosphere near the end of the substrate is to be lower than the concentration of the solvent in the atmosphere in the vicinity of the center portion of the substrate.このような乾燥ムラが生じると、形成される有機薄膜の膜厚にムラが生じる。 When such uneven drying occurs, unevenness in thickness of the organic thin film to be formed.この膜厚ムラは、輝度ムラや発光色ムラを招く。 The thickness unevenness leads to uneven brightness and emission color unevenness.そこで、表示画素領域（有効光学領域）の周囲に、表示画素と同じ形状、同ピッチのダミーバンク群を設け、表示画素領域の周辺にも有機ＥＬ材料インク組成物を塗布し、有機ＥＬ薄膜を形成する技術が提案されている（特許文献１参照）。 Therefore, the periphery of the display pixel region (effective optical area), the same shape as the display pixels, a dummy bank group of the same pitch is provided, also coated with an organic EL material ink composition in the periphery of the display pixel region, an organic EL thin film forming technology has been proposed (see Patent Document 1).この技術によれば、表示画素領域の外側のダミー領域にもインク組成物を塗布することによって、表示画素領域の雰囲気中の溶媒の濃度をほぼ均一にすることができる。 According to this technique, by applying the ink composition on the outside of the dummy area of ​​the display pixel area, it can be made substantially uniform concentration of solvent in the atmosphere of the display pixel area.これにより、表示画素領域の画素のインクの乾燥速度をほぼ均一にし、有機薄膜の膜厚のムラを低減することができる。 This makes it possible to substantially equalize the drying rate of the ink of the pixels of the display pixel area, to reduce the unevenness of the thickness of the organic thin film.他方、ダミー領域内の有機薄膜、すなわち基板の端部の有機薄膜を発光に用いないから、ここでの有機薄膜の膜厚が表示画素領域での有機薄膜の膜厚と異なっていても発光特性に影響はない。 On the other hand, an organic thin film in the dummy region, i.e. do not use an organic thin film of the edge of the substrate to light emission, light emission may be different from the thickness of the organic thin film is the thickness of the organic thin film in the display pixel region where characteristics there is no effect on.しかし、特許文献１に記載の有機ＥＬ装置では、有機ＥＬ素子が形成される基板上に、ダミー領域となる数ｍｍ幅の帯状のスペースを確保しなければならない。 However, in the organic EL device described in Patent Document 1, on the substrate where the organic EL element is formed, it is necessary to secure the strip of space of a few mm width as the dummy region.これは、有機ＥＬ装置の狭額縁化の阻害要因となる。 This is an impediment to narrow frame of the organic EL device.（課題２） (Problem 2)

そこで、本発明は、上記課題１及び課題２のいずれかまたは両方を解決することのできる有機ＥＬ装置および電子機器を提供する。 Accordingly, the present invention provides an organic EL device and an electronic apparatus capable of solving one or both of the above problems 1 and task 2.

本発明に係る有機ＥＬ装置は、各々が画素電極と対向電極とこれらの間に配置された有機層を有する複数の発光素子と、前記発光素子を相互に区分するバンクとを備え、前記バンクには、前記発光素子の有機層が配置される複数の開口が形成されており、前記複数の開口は、前記複数の発光素子が配置された素子領域の周辺部に配置された第１開口と、前記素子領域の中央に配置された第２開口とを有し、前記第１開口の面積が、前記第２開口の面積よりも大きいことを特徴とする。 The organic EL device according to the present invention comprises a plurality of light emitting elements each having an organic layer disposed between the pixel electrode and the counter electrode, and a bank for partitioning said light emitting elements to each other, the bank , said provided plurality of openings organic layer is disposed in the light emitting element is formed, the plurality of openings, a first opening in which the plurality of light emitting elements are arranged on the periphery of the deployed device region, and a second opening disposed in the center of the device region, the area of ​​the first opening, being greater than the area of ​​the second opening.

一般的に有機ＥＬ装置では、素子領域においては、酸素または水分が進入しやすい周辺部の発光素子が先に劣化し、徐々に中央に向けて劣化が進行する。 In general, the organic EL device, in the device region, the light emitting element of the peripheral portion of oxygen or moisture is likely to enter is deteriorated earlier, degradation progresses towards progressively the center.個々の発光素子においても、有機層のうちの周辺部分が先に劣化し、徐々に中央に向けて劣化が進行する。 Also in each of the light emitting element, the peripheral portion of the organic layer is deteriorated earlier, gradually deteriorated toward the center proceeds.本発明では、素子領域の周辺部における第１開口内に配置された有機層の面積が、前記素子領域の中央における第２開口内に配置された有機層の面積よりも大きいので、素子領域の周辺部の発光素子の有機層が劣化し始めた後にその有機層の中央が劣化するまで長い時間がかかる。 In the present invention, the device region area of ​​the organic layer disposed in the first opening in the peripheral portion is larger than the area of ​​the second organic layer disposed in the opening in the center of the device region, in the element region It takes a long time until the middle of the organic layer after the organic layer of the light-emitting device of the peripheral portion begins to deteriorate to deteriorate.他方、導電性の高い正孔注入／輸送有機材料を用いない限り、有機層では画素電極と対向電極の両方に重なって有効に電流が流れる中央の部分だけが主に発光し、電流が流れない周辺部分は発光しない。 On the other hand, unless a high conductivity hole injection / transport organic material, only the portion of the central flow effectively current overlaps both of the pixel electrode and the counter electrode in the organic layer is mainly emission, no current flows peripheral portion does not emit light.つまり、本発明では、素子領域の周辺部の発光素子の有機層のうち実際に発光に寄与する部分が劣化するまで時間がかかる。 That is, in the present invention, it takes time until the deterioration portion contributing to actual light emission of the organic layer of the light-emitting element of the periphery of the element region.従って、有機ＥＬ装置の寿命を長くすることが可能である。 Therefore, it is possible to prolong the life of the organic EL device.

この有機EL装置において、前記複数の発光素子の各々が有する前記画素電極の面積は、それぞれ略等しくしてもよい。 In this organic EL device, the area of ​​the pixel electrode, each of said plurality of light-emitting elements have may substantially equal to each other.この場合、発光素子の有機層の面積が異なっても、有効に電流が流れて実際に発光に発光する部分は、どの発光素子でもほぼ等しくなる。 In this case, even different areas of the organic layer of the light emitting device, portions that emit light effectively actual emission current flows becomes substantially equal at any light-emitting element.

本発明に係る有機ＥＬ装置は、各々が画素電極と対向電極とこれらの間に配置された有機層を有する複数の発光素子と、前記発光素子を相互に区分するバンクとを備え、前記バンクは、複数の第１開口部を有する第１バンクと、複数の第２開口部を有し、前記第１バンク上に形成された第２バンクと、を有し、前記第１開口部及び前記第２開口部には前記発光素子の有機層が配置され、前記第１開口部は、前記画素電極の少なくとも一部が前記有機層と接触するように形成されているとともにを露出し、かつ平面視において前記第２開口部内に位置するように形成され、前記複数の第２開口部のうち、前記複数の発光素子が配置された素子領域の周辺部に位置する第２開口部の面積は、前記素子領域の中央に位置する第２開口部の面積よりも The organic EL device according to the present invention comprises a plurality of light emitting elements each having an organic layer disposed between the pixel electrode and the counter electrode, and a bank for partitioning said light emitting elements to each other, the bank a first bank having a plurality of first openings, a plurality of second openings, and a second bank formed on the first bank, the first opening and the second the second openings organic layer of the light emitting element is disposed, the first opening is exposed together with at least a portion of the pixel electrode is formed in contact with the organic layer, and the plan view the second is formed to be positioned in the opening, one of said plurality of second openings, the area of ​​the second opening portion in which the plurality of light emitting elements are located at the periphery of the deployed device region, said in than the area of ​​the second opening located in the center of the element regionきいことを特徴とするのでもよい。 Or of being characterized in that heard.この場合には、素子領域の周辺部における第２開口部内に配置された有機層の面積が、前記素子領域の中央における第２開口部内に配置された有機層の面積よりも大きいので、素子領域の周辺部の発光素子の有機層が劣化し始めた後にその有機層の中央が劣化するまで長い時間がかかる。 In this case, the area of ​​the organic layer disposed in the second opening at the periphery of the element region is greater than the area of ​​the second opening in disposed organic layer at the center of the device region, the element region the center of the organic layer after the organic layer of the light-emitting device of the peripheral portion begins to deteriorate takes a long time to degrade.他方、導電性の高い正孔注入／輸送有機材料を用いない限り、有機層では画素電極と対向電極の両方に重なって有効に電流が流れる中央の部分だけが主に発光し、電流が流れない周辺部分は発光しない。 On the other hand, unless a high conductivity hole injection / transport organic material, only the portion of the central flow effectively current overlaps both of the pixel electrode and the counter electrode in the organic layer is mainly emission, no current flows peripheral portion does not emit light.従って、素子領域の周辺部の発光素子の有機層のうち実際に発光に寄与する部分が劣化するまで時間がかかり、有機ＥＬ装置の寿命を長くすることが可能である。 Therefore, it takes time until the deterioration portion contributing to actual light emission of the organic layer of the light-emitting element of the periphery of the element region, it is possible to prolong the lifetime of the organic EL device.

この有機EL装置において、前記複数の第１開口部の各々の開口面積は略等しくしてもよい。 In this organic EL device, the opening area of ​​each of said plurality of first openings may be substantially equal.この場合、第２開口部の面積の相違のために発光素子の有機層の面積が異なっても、第１開口部の各々の開口面積は略等しいために、有効に電流が流れて実際に発光に発光する部分は、どの発光素子でもほぼ等しくなる。 In this case, even if the area of ​​the organic layer of a light-emitting element are different due to differences in the area of ​​the second opening, for the opening area of ​​each of the first openings are substantially equal, actually emits light effectively current flows portion which emits light becomes approximately equal at any light emitting element.

前記複数の画素電極は等ピッチで配置されていると好ましい。 Preferably wherein the plurality of pixel electrodes are disposed at a constant pitch.これによれば、発光素子の実際に発光する部分のピッチが等間隔になり、視認者に違和感を与えることがなく、かつ設計が容易である。 According to this, the pitch of the actual light emission portion of the light emitting element is at equal intervals, without giving an uncomfortable feeling to a viewer, and it is easy to design.

本発明に係る電子機器は、前記の有機ＥＬ装置を備える。 Electronic device according to the present invention includes the organic EL device.

以下、添付の図面を参照しながら本発明に係る様々な実施の形態を説明する。 Hereinafter, describing the various embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings.なお、図面においては、各部の寸法の比率は実際のものとは適宜に異なる。 In the drawings, scales of lengths may actual ones different appropriately.＜第１の実施の形態＞ <First Embodiment>図１は、本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ装置を示す断面図であり、図２は、この有機ＥＬ装置の対向電極３４を除去した状態を示す平面図である。 Figure 1 is a sectional view showing an organic EL device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view showing a state in which the removal of the counter electrode 34 of the organic EL device.図１は、より具体的には図２のＩ−Ｉ線に沿って見た断面図である。 Figure 1 is a cross-sectional view more specifically as seen along the line I-I of FIG.

図１に示すように、この有機ＥＬ装置は、基板１０と、基板１０上に配置された例えば酸化珪素または窒化珪素から形成された絶縁体の層２０とを備える。 As shown in FIG. 1, the organic EL device includes a substrate 10 and a layer 20 of the formed from arranged for example silicon oxide or silicon nitride on the substrate 10 insulation.絶縁体の層２０内には、複数の発光素子（有機ＥＬ素子）２８にそれぞれ給電するための複数のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）２１および図示しない配線が埋設されている。 Within the layer 20 of insulating material, a plurality of TFT (thin film transistor) 21 and wiring (not shown) for supplying power to a plurality of light emitting elements (organic EL element) 28 is embedded.

絶縁体の層２０の上には、複数の発光素子２８が配置されている。 Over the layer 20 of insulation, a plurality of light-emitting elements 28 are arranged.各発光素子２８は、陽極と陰極とこれらの間に配置された有機層（有機薄膜）を有する。 Each light emitting element 28 has an anode and a cathode and an organic layer disposed between the (organic thin film).より具体的には、各発光素子２８は、個別の画素電極３０と、個別の有機層３２を備える。 More specifically, each light emitting element 28 includes a separate pixel electrodes 30, the individual organic layer 32.また複数の発光素子２８の有機層３２を共通に覆うように、共通電極としての対向電極３４が設けられている。 Also to cover the organic layer 32 of a plurality of light emitting elements 28 to a common counter electrode 34 is provided as a common electrode.この実施の形態では、画素電極３０が陽極、対向電極３４が陰極であるが、画素電極３０が陰極、対向電極３４が陽極であってもよい。 In this embodiment, the pixel electrode 30 is an anode, the counter electrode 34 is a cathode, the pixel electrode 30 is a cathode, the counter electrode 34 may be an anode.有機層３２としては、発光層、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロック層、正孔ブロック層、電子輸送層、電子注入層のいずれか１つまたはいずれか複数が含まれる。 The organic layer 32, light emitting layer, a hole injection layer, a hole transport layer, an electron blocking layer, a hole blocking layer, an electron transport layer include any one or any plurality of electron injection layer.

絶縁体の層２０には複数の貫通孔２２が形成されている。 A plurality of through holes 22 are formed in the layer 20 of insulation.貫通孔２２の内部には導電体が配置され、この導体により、ＴＦＴ２１と画素電極３０が電気的に接続されている。 Inside the through-hole 22 conductors are arranged, with the conductor, TFT 21 and the pixel electrode 30 are electrically connected.

発光素子２８を相互に区分するために、バンク（隔壁）が絶縁体の層２０の上に形成されている。 In order to distinguish the light emitting element 28 to each other, a bank (partition wall) is formed over the layer 20 of insulation.バンクは、親液層（第１バンク）４０と撥液層（第２バンク）５０の二層構造である。 Bank is a two-layer structure of the lyophilic layer (first bank) 40 liquid-repellent layer (second bank) 50.親液層４０は、例えば酸化珪素または窒化珪素などの無機絶縁体で形成され、撥液層５０は例えばアクリル、エポキシまたはポリイミドなどの絶縁性の樹脂材料で形成されている。 Lyophilic layer 40 is formed, for example, an inorganic insulating material such as silicon oxide or silicon nitride, liquid repellent layer 50 is for example an acrylic, and is formed of an insulating resin material such as epoxy or polyimide.親液層４０は一様な厚さを有する。 Lyophilic layer 40 has a uniform thickness.図中の符号５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ，５０Ｅは、それぞれ撥液層５０における部分を示しており、これらの部分５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ，５０Ｅについては後述する。 Code 50A, 50B, 50C, 50D, 50E in the figure, each shows a part of the liquid-repellent layer 50, these portions 50A, 50B, 50C, 50D, will be described later 50E.

図１および図２に示すように、親液層４０には複数の開口（第１開口部）４０ａが形成されており、撥液層５０には複数の開口（第２開口部）５０ａが形成されている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the lyophilic layer 40 are formed a plurality of openings (first openings) 40a, a plurality of openings in the liquid repellent layer 50 (second opening) 50a is formed It is.開口４０ａと開口５０ａはそれぞれ重なっており、重なった一組の開口４０ａと開口５０ａは連通して一つの画素開口を構成する。 Opening 40a and the opening 50a overlaps each overlapping pair of openings 40a and openings 50a constitute one pixel aperture communicating.平面視において開口４０ａは開口５０ａ内に位置している。 Opening 40a is positioned in the opening 50a in a plan view.画素開口の各々には画素電極３０が重なっているとともに、画素開口の各々の内部には有機層３２が配置されている。 With the respective pixel apertures overlap the pixel electrode 30, the organic layer 32 is disposed within each of the pixel aperture.そして、開口４０ａを通じて画素電極３０と有機層３２が接触している。 Then, the pixel electrode 30 and the organic layer 32 is in contact through the opening 40a.上述した複数の発光素子２８に共通する対向電極３４は、画素開口の内部で有機層３２に接触し、バンクの撥液層５０の領域上にも広がっている。 Counter electrode 34 common to a plurality of light emitting elements 28 described above is in contact with the organic layer 32 within the pixel aperture, it extends also over the area of ​​the liquid-repellent layer 50 of the bank.

画素電極３０は、図２のｘ方向およびｙ方向に等ピッチで形成されており、互いに同じ面積を有する。 Pixel electrodes 30 are formed at a constant pitch in the x direction and the y direction in FIG. 2, having the same area with each other.親液層４０の開口４０ａもｘ方向およびｙ方向に等ピッチで形成されていおり、互いに同じ（略等しい）面積を有する。 Opening 40a of the lyophilic layer 40 also is formed at a constant pitch in the x and y directions, it has the same (substantially equal to) the area to each other.開口４０ａにおいて画素電極３０と有機層３２が接触しておりこの接触部分を電流が流れる。 The contact portion is in contact pixel electrode 30 and the organic layer 32 at the opening 40a of the current flows.導電性の高い正孔注入／輸送有機材料を用いない限り、有機層３２では陽極と陰極の両方に重なって有効に電流が流れる中央の部分（つまり開口４０ａに重なった部分）だけが主に発光し、電流が流れない周辺部分は発光しない。 Unless a high conductivity hole injection / transport organic material, the central portion (i.e. overlapped portion to the opening 40a) to enable current flow overlaps both organic layer 32 in the anode and the cathode have mainly emission and, the peripheral portion where no current flows does not emit light.従って、発光素子２８の有効発光部分は、図２のｘ方向およびｙ方向に等ピッチで形成されており、互いに同じ面積を有することになる。 Therefore, the effective light-emitting portion of the light emitting element 28 is formed at a constant pitch in the x direction and the y direction of FIG. 2 will have the same area with each other.

この有機ＥＬ装置は、ボトムエミッションタイプでもトップエミッションタイプでもデュアルエミッションタイプでもよい。 The organic EL device may be a dual emission type in a top emission type in a bottom emission type.基板１０、画素電極３０、対向電極３４の材料は、エミッションタイプに応じて適宜選択される。 The material of the substrate 10, the pixel electrode 30, counter electrode 34 is appropriately selected depending on the emission type.

図１および図２において、バンクが形成された領域を、複数の発光素子２８が配置された素子領域とみなすことができる。 1 and 2, bank the formed region, a plurality of light emitting elements 28 are regarded as arranged element region.素子領域においては、概略的にいうと、周辺部分の撥液層５０の壁の幅が中央における撥液層５０の壁の幅よりも小さい。 In the element region, it says schematically, the width of the wall of the liquid-repellent layer 50 of the peripheral portion is smaller than the width of the wall of the liquid repellent layer 50 at the center.具体的には、図１に示すように、バンクの撥液層５０の２番目に外側の部分５０Ｄは、より内側の部分５０Ｃよりも幅が狭く形成されている。 Specifically, as shown in FIG. 1, the outer part 50D is the second liquid repellent layer 50 of the bank, and is formed narrower width than the inner portion 50C.また部分５０Ｃは、より内側の部分５０Ｂよりも幅が狭く形成されている。 The portion 50C is more width than the inner portion 50B is narrower.また部分５０Ｂは、より内側の部分５０Ａよりも幅が狭く形成されている。 The portion 50B is more wide than the inner part 50A is formed narrow.例外的に最も外側の部分５０Ｅは、その内側の部分５０Ｄよりも幅が広くしているが、これに限らず狭くしてもよい。 Exceptionally outermost portion 50E is the width than the portion 50D of the inner widely, it may be narrow it not limited thereto.

図示しないが、素子領域の中央部分では、撥液層５０の壁は部分５０Ａと同じ幅を有する。 Although not shown, in the central portion of the element region, the wall of the liquid-repellent layer 50 has the same width as portion 50A.素子領域の中央部分は、素子領域のうちのかなりの割合の面積を占めるので、実際には、部分５０Ａと同じ幅の部分は撥液層５０のうちかなりの割合の面積を占める。 The central portion of the device region, so occupying an area of ​​considerable percentage of the element region, in fact, part of the same width as the portion 50A occupies the area of ​​the significant proportion of the liquid repellent layer 50.

このように、素子領域の周辺部分では、概略的にいって、図２のｘ方向において外側に向かうほど撥液層５０の壁の幅が小さい（図示していない方の周辺部付近でも同様である）。 Thus, in the peripheral portion of the element region, say schematically, the same in the vicinity of the peripheral portion towards the width of the wall of the liquid-repellent layer 50 increases toward the outside which is not smaller (shown in the x-direction in FIG. 2 is there).詳細な図示は省略するが、図２のｙ方向においても、撥液層５０の壁の幅がより大きく、両方の周辺部付近で外側に向かうほど撥液層５０の壁の幅が小さくなる。 Is not illustrated in detail, also in the y direction in FIG. 2, the width of the wall of the liquid-repellent layer 50 is larger, the width of the wall of the liquid-repellent layer 50 as in the vicinity both of the peripheral portion toward the outside becomes small.

上記の撥液層５０の壁の幅の相違のため、素子領域の周辺部分における開口５０ａの面積は、素子領域の中央における開口５０ａの面積よりも大きい。 Due to differences in the wall of the width of the liquid-repellent layer 50, the area of ​​the opening 50a in the peripheral portion of the element region, larger than the area of ​​the opening 50a at the center of the element region.開口４０ａの面積および深さならびに開口５０ａの深さは、どこでもほぼ一様なので、素子領域の周辺部分の画素開口はより容積が大きい。 Area and depth as well as the depth of the opening 50a of the opening 40a, so everywhere almost uniform, pixel aperture of the peripheral portion of the element region is more volume is large.そして、素子領域の周辺部分では、外側に向かうほど開口５０ａの面積が大きいので、画素開口の容積も大きい。 Then, in the peripheral portion of the element region, the area of ​​higher openings 50a toward the outside is large, even larger volume of the pixel aperture.

次に、この有機ＥＬ装置を製造する方法を説明する。 Next, a method for manufacturing the organic EL device.まず、図３に示す中間製品を製造する。 First, to produce an intermediate product shown in FIG.具体的には、公知の手法によって、基板１０上に図示しない配線、ＴＦＴ２１および絶縁体の層２０を形成し、層２０上に画素電極３０をパターニングする。 Specifically, by known techniques, wiring (not shown) on the substrate 10, a layer 20 of TFT21 and the insulator, patterning the pixel electrode 30 on layer 20.次に、例えば、スピンコート、スプレーコート、ロールコート、ダイコート、ディップコート、ＣＶＤ、またはスパッタ等の公知の手法によって、バンクの親液層４０を一様な厚さで形成し、フォトリソグラフィ法などにより、開口４０aを形成して、画素電極３０の中央部を露出させる。 Then, for example, spin coating, spray coating, roll coating, die coating, dip coating, CVD or by known techniques such as sputtering, a lyophilic layer 40 of the bank formed with a uniform thickness, a photolithography method, etc. Accordingly, by forming an opening 40a, to expose the central portion of the pixel electrode 30.エッチングはドライエッチングとウェットエッチングのどちらでもよい。 Etching may be either dry etching and wet etching.

さらに例えばスピンコート、スプレーコート、ロールコート、ダイコート、ディップコート等の公知の手法によって撥液層５０を一様な厚さで形成し、フォトリソグラフィ法などにより、開口５０aを形成して、画素電極３０の中央部を露出させる。 Further for example, spin coating, spray coating, roll coating, die coating, liquid-repellent layer 50 is formed in a uniform thickness by a known method such as dip coating, by a photolithography method, to form openings 50a, pixel electrodes exposing the central portion of 30.

このようにして図３に示すバンクを有する中間製品が完成する。 An intermediate product having a bank shown in FIG. 3 this way is completed.

この後、酸素プラズマによる親液化処理とＣＦ ４プラズマによる撥液化処理を行なってもよい。 Thereafter, it may be performed lyophobic treatment by lyophilic treatment and CF 4 plasma using oxygen plasma.親液化処理により、有機層３２の材料となる液体に対する親液層４０の親液性を向上させることができる。 The lyophilic process, it is possible to improve the lyophilic property of the lyophilic layer 40 to the liquid which is a material of the organic layer 32.また、撥液化処理により、有機層４０の材料となる液体に対する撥液層５０の撥液性を向上させることができる。 Moreover, the lyophobic treatment, thereby improving the liquid repellency of the liquid repellent layer 50 to the liquid which is a material of the organic layer 40.このようにすれば、撥液層５０の材料が元々撥液性を有していない材料の場合でも、上記のプラズマ処理により、親液層４０の親液性を維持したまま、撥液層５０に撥液性を付与することができる。 In this way, even if the material which the material of the liquid-repellent layer 50 is not originally liquid-repellent by the plasma treatment, while maintaining the lyophilic property of the lyophilic layer 40, liquid repellent layer 50 it is possible to impart liquid repellency to.

次に、図４に示すように、画素開口の各々に有機層３２の材料となる液体３２Ｌを配分する。 Next, as shown in FIG. 4, for distributing the liquid 32L as a material for the organic layer 32 to each of the pixel aperture.液体３２Ｌは、例えば、水または有機溶媒を溶媒とするインクである。 Liquid 32L is, for example, an ink for water or organic solvent as a solvent.溶媒中には、有機層３２の材料である共役系高分子または低分子材料が溶質として分散または溶解している。 The solvent conjugated polymer or low molecular materials is a material of the organic layer 32 is dispersed or dissolved as a solute.液体３２Ｌの供給方法としては、例えばインクジェット法、ジェットディスペンサ法、またはディスペンサ法を利用できるが、この実施の形態では、インクジェット法を例にとって説明する。 As the method of supplying the liquid 32L, for example an ink-jet method, a jet dispenser method, or a dispenser method can be utilized, in this embodiment, will be described an inkjet method as an example.

図４に示すように、インクジェットヘッド８０を駆動し、インクジェットヘッド８０のノズル８１から画素開口に向けて液体３２Ｌを噴射させ、すべての画素開口に液体３２Ｌを供給する。 As shown in FIG. 4, by driving the ink jet head 80, the nozzle 81 of the inkjet head 80 toward the pixel aperture is injected the liquid 32L, and supplies the liquid 32L to all pixel aperture.上述したように、素子領域の周辺部分における開口５０ａの面積は素子領域の中央における開口５０ａの面積よりも大きいために、素子領域の周辺部分の画素開口は、中央部分の画素開口よりも容積が大きい。 As described above, in order the area of ​​the opening 50a in the peripheral portion of the element region is larger than the area of ​​the opening 50a at the center of the element regions, the pixel openings of the peripheral portion of the element region, the volume than the pixel aperture of the central portion large.このことを利用して、図５に示すように、素子領域内の周辺部分での画素開口に、有機層の材料となる液体３２Ｌを中央部分での画素開口より多量に配分する。 By utilizing this, as shown in FIG. 5, the pixel aperture in the peripheral portion of the element region, a large amount of distributed than the pixel aperture of the liquid 32L which is a material of the organic layer in the central portion.また、素子領域の周辺部分では、外側の画素開口ほど、多量の液体３２Ｌを配分する。 Further, in the peripheral portion of the element region, as outside the pixel opening, allocating a large amount of liquid 32L.

このように外側の画素開口に、より多量の液体３２Ｌを供給するためには、以下のいずれか１つまたはこれらの組み合わせの手法を採用することができる。 In this way outside the pixel opening, in order to further supply a large amount of liquid 32L may employ any one or approach a combination of these below.（１）ノズルの液滴供給量を制御する圧電素子に与える電流または電圧を、画素開口の位置に応じて変更する。 (1) a current or voltage applied to the piezoelectric element for controlling the droplet supply amount of the nozzle is changed depending on the position of the pixel aperture.つまり１ドットの液適量を変更する。 That is to change the droplet amount of 1 dot.（２）ノズルの液滴供給量を制御する圧電素子に与えるパルスの数を、画素開口の位置に応じて変更し、画素開口あたりの液滴数を変更する。 (2) the number of pulses supplied to the piezoelectric element for controlling the droplet supply quantity of the nozzle, and change depending on the position of the pixel aperture, to change the number of drops per pixel aperture.（３）画素開口あたりのノズルの数を、画素開口の位置に応じて変更し、画素開口あたりの液滴数を変更する。 (3) The number of nozzles per pixel aperture, and change depending on the position of the pixel aperture, to change the number of drops per pixel aperture.

次に、画素開口に配分された液体３２Ｌを真空下で乾燥させ、図６に示すように、発光層３２を形成する。 Then, the liquid 32L allocated to pixel apertures dried under vacuum, as shown in FIG. 6, to form a light emitting layer 32.さらに、乾燥の程度を高めるために、基板１０をアニールしてもよい。 Furthermore, to enhance the degree of drying, the substrate 10 may be annealed.この乾燥工程では、有機層３２中の溶媒（水または有機溶媒）を除去する。 In this drying step, the solvent is removed in the organic layer 32 (water or organic solvent).

この後、公知の手法で、図１に示す対向電極３４を形成する。 Thereafter, a known method, forming the counter electrode 34 shown in FIG.図示しないが、好ましくは、この後、封止工程で図１の構造に封止膜または封止キャップが設けられる。 Although not shown, preferably, after the sealing film or a sealing cap is provided to the structure of FIG. 1 in the sealing step.

この実施の形態では、素子領域内の周辺部での開口５０ａの面積が、素子領域の中央での開口５０ａの面積よりも大きいので、有機層３２の材料となる液体３２Ｌを配分する工程では、素子領域内の周辺部での画素開口に、有機層３２の材料となる液体３２Ｌをより多量に配分することができる（図５参照）。 In this embodiment, the area of ​​the opening 50a at the periphery of the element region is greater than the area of ​​the opening 50a in the center of the element region, in the step of allocating a liquid 32L as a material for the organic layer 32, the pixel aperture at the periphery of the element area can be larger amount distribute the liquid 32L as a material for the organic layer 32 (see FIG. 5).このため、素子領域の周辺部から多くの溶媒が蒸発し、素子領域の雰囲気中の溶媒の濃度のバラツキを少なくすることができる。 Therefore, it is possible that many of the solvent evaporates from the periphery of the element region, to reduce the variation in the concentration of the solvent in the atmosphere of the element region.つまり、周辺部での雰囲気中の溶媒の濃度が、中央部での雰囲気中の溶媒の濃度に近くなる。 That is, the concentration of solvent in the atmosphere at the periphery, close to the concentration of the solvent in the atmosphere at the central portion.これにより、素子領域の各発光素子２８での液体３２Ｌの乾燥速度のバラツキを低減し、発光素子２８の有機層３２の膜厚のムラを低減し、輝度ムラや発光色ムラを低減することができる。 Thus, it is possible to reduce the drying rate of the variation of the liquid 32L in each light-emitting element 28 of the element region, to reduce the unevenness of the film thickness of the organic layer 32 of the light emitting element 28, to reduce brightness unevenness and emission color unevenness it can.また、先行技術（例えば上記の特開２００２−２５２０８３号公報）でのダミー領域の利用と異なり、素子領域内の周辺部の発光素子２８も発光に用いられるので、発光に寄与しない領域の増加を抑えることができる。 Also, unlike the use of a dummy region of the prior art (such as the above-mentioned JP 2002-252083 JP), since the light emitting element 28 of the peripheral portion of the element region it is also used in the light emitting, an increase in the area which does not contribute to light emission it can be suppressed.つまり狭額縁化を図ることが可能である。 That it is possible to realize frame narrowing.

また、一般的に有機ＥＬ装置では、素子領域においては、酸素または水分が進入しやすい周辺部の発光素子２８が先に劣化し、徐々に中央に向けて劣化が進行する。 Also, in general, the organic EL device, in the device region, the light emitting element 28 of the peripheral portion of oxygen or moisture is likely to enter is deteriorated earlier, deterioration gradually toward the center proceeds.個々の発光素子２８においても、有機層３２のうちの周辺部分が先に劣化し、徐々に中央に向けて劣化が進行する。 Also in each of the light emitting element 28, the peripheral portion of the organic layer 32 is deteriorated earlier, gradually deteriorated toward the center proceeds.この実施の形態では、素子領域の周辺部における発光素子２８の有機層３２の面積が、素子領域の中央における発光素子２８の有機層３２の面積よりも大きいので、素子領域の周辺部の発光素子２８の有機層３２が劣化し始めた後にその有機層３２の中央が劣化するまで長い時間がかかる。 In this embodiment, since the area of ​​the organic layer 32 of the light emitting element 28 in the peripheral portion of the element region, larger than the area of ​​the organic layer 32 of the light-emitting element 28 at the center of the element region, the light emitting element of the peripheral portion of the element region 28 the center of the organic layer 32 after the organic layer 32 began to deteriorate takes a long time to deteriorate the.他方、有機層３２では陽極と陰極の両方に重なって有効に電流が流れる中央の部分（つまり開口４０ａに重なった部分）だけが主に発光し、電流が流れない周辺部分は発光しない。 On the other hand, only the central portion of the effective current flows overlaps both the anode and the cathode in the organic layer 32 (i.e. overlapped portion to the opening 40a) is mainly emitting the peripheral portion where the current does not flow does not emit light.つまり、この実施の形態では、素子領域の周辺部の発光素子２８の有機層３２のうち実際に発光に寄与する部分が劣化するまで時間がかかる。 That is, in this embodiment, it takes time until actual portion contributing to light emission of the organic layer 32 of the light emitting element 28 of the peripheral portion of the element region is deteriorated.従って、有機ＥＬ装置の寿命を長くすることが可能である。 Therefore, it is possible to prolong the life of the organic EL device.

この実施の形態では、有機層３２をインクジェット法、ジェットディスペンサ法、またはディスペンサ法で形成するが、有機層３２を蒸着によって形成してもよい。 In this embodiment, an ink jet method and the organic layer 32, the jet dispenser method, or is formed by a dispenser method, may be formed organic layer 32 by vapor deposition.有機層３２を蒸着によって形成する場合にも、上記の通り、素子領域の周辺部の発光素子２８の有機層３２のうち実際に発光に寄与する部分が劣化するまで時間がかかることは同様にいえることである。 In the case of forming the organic layer 32 by vapor deposition are also as described above, it takes time until the portion contributing to actual light emission of the organic layer 32 of the light emitting element 28 of the peripheral portion of the element region is degraded said similarly it is.従って、有機ＥＬ装置の寿命を長くすることが可能である。 Therefore, it is possible to prolong the life of the organic EL device.また、この実施例では、単色の発光素子２８だけを形成したが、赤、緑、青色の発光サブピクセル群からなる素子領域を形成する場合も同様に適用でき、同様の効果を得ることができる。 Further, in this embodiment, to form only a single color of the light emitting element 28, it is possible to obtain red, green, applies equally when forming a blue element region consisting of the light-emitting sub-pixel groups, the same effect .

＜第２の実施の形態＞ <Second Embodiment>図７は、本発明の第２の実施の形態に係るカラーフィルタパネルを製造する方法を示すカラーフィルタパネルの断面図であり、図８は、完成状態のこのカラーフィルタパネルを示す平面図である。 Figure 7 is a cross-sectional view of a color filter panel showing a method of manufacturing a color filter panel according to a second embodiment of the present invention, FIG 8 is a plan view showing the color filter panel completed state .図７は、より具体的には図８のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿って見た断面図である。 Figure 7 is a cross-sectional view more specifically as seen along line VII-VII in FIG. 8.カラーフィルタパネルは、ガラスまたは透明樹脂のような透明材料から形成された基板１００と、基板１００上に形成されたカラーフィルタ１０４（１０４Ｒ，１０４Ｇ，１０４Ｂ）と、基板１００上に形成されてカラーフィルタ１０４を区分するバンク（隔壁）を備える。 The color filter panel includes a substrate 100 formed of a transparent material such as glass or transparent resin, a color filter 104 formed on the substrate 100 (104R, 104G, 104B) and the color filter is formed on the substrate 100 comprising a bank (partition wall) partitioning the 104.カラーフィルタ１０４の添字Ｒ，Ｇ，Ｂは、そのカラーフィルタを透過する光の色を示す。 Subscript R, G, B of the color filter 104 shows the color of light transmitted through the color filter.つまり、カラーフィルタ１０４Ｒは赤色の光を透過し、カラーフィルタ１０４Ｇは緑色の光を透過し、カラーフィルタ１０４Ｂは青色の光を透過する。 That is, the color filter 104R transmits the red light, the color filter 104G transmits green light, the color filter 104B is transmitted through the blue light.

バンクは、バンク下層１０２とバンク上層１０６の二層構造である。 Bank is a two-layer structure of the lower bank layer 102 and the upper bank layer 106.バンク下層１０２は、例えばクロムまたはその酸化膜などの遮光性を有する材料で形成され、ブラックマトリクスとして機能する。 Lower bank layer 102 is formed of, for example, a light-shielding material such as chromium or its oxide film, serving as a black matrix.バンク上層１０６は例えば、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、オレフィン樹脂、メラミン樹脂などの高分子材料で形成されている。 The upper bank layer 106 for example, is formed of a polymeric material such as acrylic resin, polyimide resin, olefin resin, a melamine resin.バンク下層１０２は一様な厚さを有する。 Lower bank layer 102 has a uniform thickness.図中の符号１０６Ａ，１０６Ｂ，１０６Ｃ，１０６Ｄ，１０６Ｅは、それぞれバンク上層１０６における部分を示しており、これらの部分１０６Ａ，１０６Ｂ，１０６Ｃ，１０６Ｄ，１０６Ｅについては後述する。 Code 106A, 106B, 106C, 106D, 106E in the figure shows the portion in each upper bank layer 106, these portions 106A, 106B, 106C, 106D, will be described later 106E.

バンク下層１０２には複数の開口１０２ａが形成されており、バンク上層１０６には複数の開口１０６ａが形成されている。 The lower bank layer 102 is formed with a plurality of openings 102a, it is formed with a plurality of openings 106a in upper bank layer 106.開口１０２ａと開口１０６ａはそれぞれ重なっており、重なった一組の開口１０２ａと開口１０６ａは連通して一つのフィルタ開口を構成する。 It overlaps the opening 102a and the opening 106a, respectively, overlapping a pair of openings 102a and the opening 106a constitute one filter aperture communicating.

バンク下層１０２の開口１０２ａは、図８のｘ方向およびｙ方向に等ピッチで形成されており、互いに同じ面積を有する。 Opening 102a of the lower bank layer 102 is formed at a constant pitch in the x direction and the y direction in FIG. 8, having the same area with each other.開口１０２ａにおいてカラーフィルタ１０４と透明な基板１００が接触しておりこの接触部分を光が透過する。 Light The contact portion color filter 104 and transparent substrate 100 is in contact at the opening 102a is transmitted.カラーフィルタ１０４では開口１０２ａに重なった中央の部分だけが光を透過させ、周辺部分では光が透過しない。 Only the portion of the central overlapping the color the filter 104 opening 102a is transmits light, light is not transmitted in the peripheral portion.従って、カラーフィルタ１０４の有効光透過部分は、図８のｘ方向およびｙ方向に等ピッチで形成されており、互いに同じ面積を有することになる。 Therefore, the effective light transmission portion of the color filter 104 is formed at a constant pitch in the x direction and the y direction in FIG. 8, will have the same area with each other.

このカラーフィルタパネルにおいては、概略的にいうと、周辺部分のバンク上層１０６の壁の幅が中央におけるバンク上層１０６の壁の幅よりも小さい。 In this color filter panel, it says schematically, the width of the wall of the peripheral portion of the upper bank layer 106 is smaller than the width of the wall of the upper bank layer 106 at the center.具体的には、バンク上層１０６の２番目に外側の部分１０６Ｄは、より内側の部分１０６Ｃよりも幅が狭く形成されている。 Specifically, the outer portion 106D to the second upper bank layer 106, width than more inner portion 106C is formed narrow.また部分１０６Ｃは、より内側の部分１０６Ｂよりも幅が狭く形成されている。 The portion 106C has a width than a inner portion 106B is narrower.また部分１０６Ｂは、より内側の部分１０６Ａよりも幅が狭く形成されている。 The portion 106B is more width than the inner portion 106A is formed narrow.例外的に最も外側の部分１０６Ｅは、その内側の部分１０６Ｄよりも幅が広いが、狭くしてもよい。 Exceptionally outermost portion 106E is wider than its inner portion 106D, it may be narrowed.

図示しないが、カラーフィルタパネルの中央部分では、バンク上層１０６の壁は部分１０６Ａと同じ幅を有する。 Although not shown, in the central portion of the color filter panel, wall upper bank layer 106 has the same width as the portion 106A.カラーフィルタパネルの中央部分は、カラーフィルタパネルのうちのかなりの割合の面積を占めるので、実際には、部分１０６Ａと同じ幅の部分はバンク上層１０６のうちかなりの割合の面積を占める。 Central portion of the color filter panel, so occupying an area of ​​considerable percentage of the color filter panel, in fact, part of the same width as the portion 106A occupies an area of ​​significant proportion of the upper bank layer 106.

このように、カラーフィルタパネルの周辺部分では、概略的にいって、図８のｘ方向において外側に向かうほどバンク上層１０６の壁の幅が小さい（図示していない方の周辺部付近でも同様である）。 Thus, in the peripheral portion of the color filter panel, say schematically, the same in the vicinity of the peripheral portion towards the width of the wall increases toward the outside upper bank layer 106 is not small (as shown in the x-direction in FIG. 8 is there).詳細な図示は省略するが、図８のｙ方向においても、バンク上層１０６の壁の幅がより大きく、両方の周辺部付近で外側に向かうほどバンク上層１０６の壁の幅が小さくなる。 Is not illustrated in detail, also in the y direction in FIG. 8, the width of the wall of the upper bank layer 106 is larger, the width of the wall as upper bank layer 106 in the vicinity of both of the peripheral portion toward the outside becomes small.

上記のバンク上層１０６の壁の幅の相違のため、カラーフィルタパネルの周辺部分における開口１０６ａの面積は、カラーフィルタパネルの中央における開口１０６ａの面積よりも大きい。 Because of the difference of the width of the wall of the bank layer 106, the area of ​​the opening 106a is in the peripheral portion of the color filter panel, larger than the area of ​​the opening 106a in the center of the color filter panel.開口１０２ａの面積および深さならびに開口１０６ａの深さは、どこでもほぼ一様なので、カラーフィルタパネルの周辺部分のフィルタ開口はより容積が大きい。 Area and depth as well as the depth of the opening 106a of the opening 102a, so everywhere almost uniform, filter openings of the peripheral portion of the color filter panel is larger and more volume.そして、カラーフィルタパネルの周辺部分では、外側に向かうほど開口１０６ａの面積が大きいので、フィルタ開口の容積も大きい。 Then, in the peripheral portion of the color filter panel, the area of ​​higher opening 106a toward the outside is large, even larger volume of the filter openings.

次に、このカラーフィルタパネルを製造する方法を説明する。 Next, a method for manufacturing the color filter panel.まず、図７(Ａ)に示す中間製品を製造する。 First, to produce an intermediate product shown in FIG. 7 (A).具体的には、基板１００上に、例えば、ＣＶＤまたはスパッタ等の公知の手法によって、バンク上層１０２を一様な厚さで形成し、フォトリソグラフィ法などにより、開口１０２aを形成して、基板１００を部分的に露出させる。 Specifically, on the substrate 100, for example, by a known method such as CVD or sputtering, the upper bank layer 102 is formed in a uniform thickness, a photolithography method, or the like to form an opening 102a, the substrate 100 the is partially exposed.エッチングはドライエッチングとウェットエッチングのどちらでもよい。 Etching may be either dry etching and wet etching.

さらに例えばスピンコート、スプレーコート、ロールコート、ダイコート、ディップコート等の公知の手法によってバンク上層１０６を一様な厚さで形成し、フォトリソグラフィ法などにより、開口１０６aを形成して、基板１００を部分的に露出させる。 Further for example, spin coating, spray coating, roll coating, die coating, and formed by a known thick uniform the upper bank layer 106 by a technique of such a dip coating, a photolithography method, or the like to form an opening 106a, a substrate 100 partially exposed.

このようにして図７(Ａ）に示すバンクを有する中間製品が完成する。 In this way an intermediate product having a bank shown in FIG. 7 (A) is completed.

この後、酸素プラズマによる親液化処理とＣＦ ４プラズマによる撥液化処理を行なってもよい。 Thereafter, it may be performed lyophobic treatment by lyophilic treatment and CF 4 plasma using oxygen plasma.親液化処理により、カラーフィルタ１０４の材料となる液体に対するバンク下層１０２の親液性を向上させることができる。 The lyophilic process, it is possible to improve the liquophilic lower bank layer 102 for the liquid which is a material of the color filter 104.また、撥液化処理により、カラーフィルタ１０４の材料となる液体に対するバンク上層１０６の撥液性を向上させることができる。 Moreover, the lyophobic treatment, thereby improving the liquid repellency of the upper bank layer 106 for the liquid which is a material of the color filter 104.このようにすれば、バンク上層１０６の材料が元々撥液性を有していない材料の場合でも、上記のプラズマ処理により、バンク下層１０２の親液性を維持したまま、バンク上層１０６に撥液性を付与することができる。 In this way, even if the material which the material of the upper bank layer 106 does not originally have a lyophobic property, by the plasma treatment, while maintaining the lyophilic bank lower 102, lyophobic bank layer 106 it is possible to impart sex.

次に、図７(Ｂ）に示すように、フィルタ開口の各々にカラーフィルタ１０４の材料となる液体１０４ＲＬ，１０４ＢＬ，１０４ＧＬを配分する。 Next, as shown in FIG. 7 (B), the liquid 104RL serving as the material of the color filter 104 to each of the filter openings, to allocate 104BL, the 104GL.液体１０４ＲＬ，１０４ＢＬ，１０４ＧＬは、例えば、水または有機溶媒を溶媒とするインクである。 Liquid 104RL, 104BL, 104GL is, for example, an ink for water or organic solvent as a solvent.溶媒中には、カラーフィルタ１０４の材料である顔料や染料が溶質として分散または溶解している。 The solvent, pigments and dyes is dispersed or dissolved as a solute, which is the material of the color filter 104.液体の供給方法としては、例えばインクジェット法、ジェットディスペンサ法、またはディスペンサ法を利用できるが、この実施の形態では、インクジェット法を例にとって説明する。 As for the method of supplying the liquid, for example ink-jet method, a jet dispenser method, or a dispenser method can be utilized, in this embodiment, it will be described an inkjet method as an example.

図７(Ｂ）に示すように、インクジェットヘッド２８０を駆動し、インクジェットヘッド２８０のノズル２８１からフィルタ開口に向けて液体１０４ＲＬ，１０４ＢＬ，１０４ＧＬを噴射させ、すべてのフィルタ開口に液体１０４ＲＬ，１０４ＢＬ，１０４ＧＬを供給する。 As shown in FIG. 7 (B), by driving the ink jet head 280, toward a nozzle 281 of the inkjet head 280 to the filter opening liquid 104RL, 104BL, to inject 104GL, liquid 104RL all of the filters aperture, 104BL, 104GL and supplies.上述したように、カラーフィルタパネルの周辺部分における開口１０６ａの面積はカラーフィルタパネルの中央における開口１０６ａの面積よりも大きいために、カラーフィルタパネルの周辺部分のフィルタ開口は、中央部分のフィルタ開口よりも容積が大きい。 As described above, in order the area of ​​the opening 106a in the peripheral portion of the color filter panel is larger than the area of ​​the opening 106a in the center of the color filter panel, the filter openings of the peripheral portion of the color filter panel, the filter aperture of the central portion also a large volume.このことを利用して、図７(Ｃ）に示すように、カラーフィルタパネル内の周辺部分でのフィルタ開口に、カラーフィルタ１０４の材料となる液体１０４ＲＬ，１０４ＢＬ，１０４ＧＬを中央部分でのフィルタ開口より多量に配分する。 By utilizing this, as shown in FIG. 7 (C), the filter openings at the peripheral portion of the color filter panel, the filter openings of the liquid 104RL serving as the material of the color filter 104, 104BL, the 104GL in the central portion more large amount of distribution.また、カラーフィルタパネルの周辺部分では、外側のフィルタ開口ほど、多量の液体を配分する。 Further, in the peripheral portion of the color filter panel, as the outer filter opening, allocating a large amount of liquid.

このように外側のフィルタ開口に、より多量の液体を供給するためには、以下のいずれか１つまたはこれらの組み合わせの手法を採用することができる。 In this way outside the filter openings, in order to further supply a large amount of liquid can be employed any one or approach a combination of these below.（１）ノズルの液滴供給量を制御する圧電素子に与える電流または電圧を、フィルタ開口の位置に応じて変更する。 (1) a current or voltage applied to the piezoelectric element for controlling the droplet supply amount of the nozzle is changed depending on the position of the filter opening.つまり１ドットの液適量を変更する。 That is to change the droplet amount of 1 dot.（２）ノズルの液滴供給量を制御する圧電素子に与えるパルスの数を、フィルタ開口の位置に応じて変更し、フィルタ開口あたりの液滴数を変更する。 (2) the number of pulses supplied to the piezoelectric element for controlling the droplet supply quantity of the nozzle, and change depending on the position of the filter openings, to change the number of drops per filter opening.（３）フィルタ開口あたりのノズルの数を、フィルタ開口の位置に応じて変更する。 (3) The number of nozzles per filter aperture, to change in accordance with the position of the filter opening.開口あたりの液滴数を変更する。 To change the number of droplets per opening.

次に、フィルタ開口に配分された液体を真空下で乾燥させ、図７(Ｄ）に示すように、カラーフィルタ１０４を形成する。 Then, the liquid that is allocated to the filter aperture dried under vacuum, as shown in FIG. 7 (D), to form a color filter 104.さらに、乾燥の程度を高めるために、基板１００をアニールしてもよい。 Furthermore, to enhance the degree of drying, the substrate 100 may be annealed.この乾燥工程では、カラーフィルタ１０４Ｒ，１０４Ｂ，１０４Ｇ中の溶媒（水または有機溶媒）を削除する。 In this drying process, to remove the color filters 104R, 104B, solvent in 104G (water or organic solvent).

この実施の形態では、カラーフィルタパネル内の周辺部での開口１０６ａの面積が、カラーフィルタパネルの中央での開口１０６ａの面積よりも大きいので、カラーフィルタ１０４の材料となる液体を配分する工程では、カラーフィルタパネル内の周辺部でのフィルタ開口に、カラーフィルタ１０４の材料となる液体をより多量に配分することができる（図７(Ｃ）参照）。 In this embodiment, the area of ​​the opening 106a at the periphery of the color filter panel is larger than the area of ​​the opening 106a at the center of the color filter panel, in the step of allocating a liquid which is a material of the color filter 104 , the filter openings at the periphery of the color filter panel can be more heavily distribute the liquid as a material for the color filter 104 (see FIG. 7 (C)).このため、カラーフィルタパネルの周辺部から多くの溶媒が蒸発し、カラーフィルタパネルの雰囲気中の溶媒の濃度のバラツキを少なくすることができる。 Therefore, it is possible that many of the solvent evaporates from the periphery of the color filter panel, to reduce the variation in the concentration of the solvent in the atmosphere of the color filter panel.つまり、周辺部での雰囲気中の溶媒の濃度が、中央部での雰囲気中の溶媒の濃度に近くなる。 That is, the concentration of solvent in the atmosphere at the periphery, close to the concentration of the solvent in the atmosphere at the central portion.これにより、カラーフィルタパネルの各カラーフィルタ１０４での液体の乾燥速度のバラツキを低減し、カラーフィルタ１０４の膜厚のムラを低減し、透過特性のムラ（例えば透過後の輝度ムラ）を低減することができる。 This reduces variations in the drying rate of the liquid in the color filter 104 of the color filter panel, to reduce the unevenness of the film thickness of the color filter 104 to reduce the unevenness of the transmission characteristic (for example, luminance unevenness after transmission) be able to.また、カラーフィルタパネル内の周辺部のカラーフィルタ１０４も実際に使用に供されるので、使用に役立たない領域の増加を抑えることができる。 Further, since it is subjected to actual use even color filter 104 of the peripheral portion in the color filter panel, it is possible to suppress an increase in area useless for use.つまり狭額縁化を図ることが可能である。 That it is possible to realize frame narrowing.

＜応用例＞ <Applications>次に、上記の各実施の形態に係る有機ＥＬ装置（以降、「本有機ＥＬ装置」と呼ぶ）を適用した電子機器について説明する。 Next, the organic EL device (hereinafter, referred to as "organic EL device") according to the above embodiments will be described electronic apparatus to which the.図９は、本有機ＥＬ装置を画像表示装置に利用したモバイル型のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。 Figure 9 is a perspective view showing a configuration of a mobile personal computer using the organic EL device to the image display device.パーソナルコンピュータ２０００は、表示装置としての有機ＥＬ装置１と本体部２０１０とを備える。 Personal computer 2000 includes the organic EL device 1 and the main body portion 2010 of the display device.本体部２０１０には、電源スイッチ２００１およびキーボード２００２が設けられている。 The main body 2010, a power switch 2001 and a keyboard 2002 are provided.

図１０に、本有機ＥＬ装置を適用した携帯電話機を示す。 10 shows a cellular phone including the present organic EL device.携帯電話機３０００は、複数の操作ボタン３００１およびスクロールボタン３００２、ならびに表示装置としての有機ＥＬ装置１を備える。 Mobile phone 3000 includes an organic EL device 1 as a plurality of operation buttons 3001, scroll buttons 3002, and a display device.スクロールボタン３００２を操作することによって、本有機ＥＬ装置に表示される画面がスクロールされる。 By operating the scroll buttons 3002, a screen displayed on the organic EL device is scrolled.

図１１に、本有機ＥＬ装置を適用した情報携帯端末（ＰＤＡ：personal digital assistant）を示す。 11, portable information terminal according to the present organic EL device: shows the (PDA personal digital assistant).情報携帯端末４０００は、複数の操作ボタン４００１および電源スイッチ４００２、ならびに表示装置としての有機ＥＬ装置１を備える。 The PDA 4000 includes an organic EL device 1 as a plurality of operation buttons 4001, a power switch 4002, and display device.電源スイッチ４００２を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が本有機ＥＬ装置に表示される。 By operating the power switch 4002, various kinds of information such as an address book or a schedule book is displayed on the organic EL devices.

本有機ＥＬ装置を表示装置として用いることができる電子機器としては、図９から図１１に示したもののほか、デジタルスチルカメラ、テレビ、ビデオカメラ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電子ペーパー、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、ビデオプレーヤ、タッチパネルを備えた機器等が挙げられる。 The electronic device can be used the organic EL device as a display device, in addition to those shown in FIGS. 9-11, a digital still camera, a television, a video camera, a car navigation system, a pager, an electronic organizer, an electronic paper, an electronic calculator , a word processor, a workstation, a videophone, POS terminals, video players, and apparatuses having a touch panel.

さらに、本有機ＥＬ装置は、電子写真方式のプリンタ（画像印刷装置）の露光ヘッド、または各種の照明装置としても利用することができる。 Further, the organic EL device can also be used as an exposure head or various illumination device, the electrophotographic printer (image printing apparatus).このような画像印刷装置や照明装置も本発明に係る電子機器に含まれる。 Such an image printing apparatus or a lighting apparatus is also included in the electronic device according to the present invention.

本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ装置を示す断面図である。 Is a sectional view showing an organic EL device according to an embodiment of the present invention.図１の有機ＥＬ装置の対向電極を除去した状態を示す平面図である。 Is a plan view showing a state in which the removal of the counter electrode of the organic EL device of FIG.図１の有機ＥＬ装置の中間製品を示す断面図である。 Is a sectional view showing an intermediate product of the organic EL device of FIG.図３の中間製品から図１の有機ＥＬ装置を製造する方法の第１の実施の形態の一工程を示す断面図である。 It is a cross-sectional view showing a step of a first embodiment of a method of manufacturing the organic EL device of FIG. 1 from the intermediate product of FIG.図４の次の工程を示す断面図である。 It is a sectional view showing a step subsequent to FIG.図５の次の工程を示す断面図である。 It is a sectional view showing a step subsequent to FIG.本発明の第２の実施の形態に係るカラーフィルタパネルを製造する方法を示すカラーフィルタパネルの断面図である。 The method of manufacturing a color filter panel according to a second embodiment of the present invention is a cross-sectional view of a color filter panel shown.完成状態の図７のカラーフィルタパネルを示す平面図である。 It is a plan view showing a color filter panel of FIG. 7 of the finished state.本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ装置を備える電子機器の一例を示す斜視図である。 An example of an electronic apparatus including the organic EL device according to an embodiment of the present invention is a perspective view showing.本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ装置を備える電子機器の他の一例を示す斜視図である。 Another example of an electronic apparatus including the organic EL device according to an embodiment of the present invention is a perspective view showing.本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ装置を備える電子機器の他の一例を示す斜視図である。 Another example of an electronic apparatus including the organic EL device according to an embodiment of the present invention is a perspective view showing.

Claims (4)

Translated from Japanese

各々が画素電極と対向電極とこれらの間に配置された有機層を有する複数の発光素子と、 A plurality of light emitting elements each having an organic layer disposed between the pixel electrode and the counter electrode,前記発光素子を相互に区分するバンクと、を備え、 And a bank for partitioning said light emitting elements to each other,前記バンクには、前記発光素子の有機層が配置される複数の開口が形成されており、 The bank has a plurality of openings are formed in which an organic layer is disposed in the light emitting element,前記複数の開口は、前記複数の発光素子が配置された素子領域の周辺部に配置された第１開口と、前記素子領域の中央に配置された第２開口とを有し、 Wherein the plurality of openings has a first opening in which the plurality of light emitting elements are arranged on the periphery of the deployed device region and a second opening disposed in the center of the device region,前記第１開口の面積が、前記第２開口の面積よりも大きく、前記複数の発光素子の各々が有する前記画素電極の面積は、それぞれ略等しいことを特徴とする有機ＥＬ装置。 The area of the first opening, the second much larger than the area of the opening, the area of the pixel electrodes each having a plurality of light emitting elements, organic EL device, characterized in that substantially equal, respectively.

各々が画素電極と対向電極とこれらの間に配置された有機層を有する複数の発光素子と、 A plurality of light emitting elements each having an organic layer disposed between the pixel electrode and the counter electrode,前記発光素子を相互に区分するバンクと、を備え、 And a bank for partitioning said light emitting elements to each other,前記バンクは、複数の第１開口部を有する第１バンクと、複数の第２開口部を有し、前記第１バンク上に形成された第２バンクと、を有し、 The bank includes a first bank having a plurality of first openings, a plurality of second openings, and a second bank formed on the first bank, a,前記第１開口部及び前記第２開口部には前記発光素子の有機層が配置され、 Wherein the first opening and the second opening organic layer of the light emitting element is disposed,前記第１開口部は、前記画素電極の少なくとも一部が前記有機層と接触するように形成されているとともに、平面視において前記第２開口部内に位置するように形成され、 Said first opening, with at least a portion of the pixel electrode is formed in contact with the organic layer, it is formed so as to be positioned within said second opening in a plan view,前記複数の第２開口部のうち、前記複数の発光素子が配置された素子領域の周辺部に位置する第２開口部の面積は、前記素子領域の中央に位置する第２開口部の面積よりも大きく、前記複数の第１開口部の各々の開口面積は略等しいことを特徴とする有機ＥＬ装置。 Among the plurality of second openings, the area of ​​the second opening located on the periphery of the plurality of element regions where the light emitting elements are arranged, from the area of ​​the second opening located in the center of the device region also the size rather, the organic EL device, wherein the opening area of each of said plurality of first openings are substantially equal.

前記複数の画素電極は等ピッチで配置されていることを特徴とする請求項１ または請求項２に記載の有機ＥＬ装置。 Wherein the plurality of pixel electrodes of the organic EL device according to claim 1 or claim 2, characterized in that it is arranged at equal pitches.

請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の有機ＥＬ装置を備える電子機器。 Electronic apparatus including the organic EL device as claimed in any one of claims 3.

Method of manufacturing an organic light emitting device and a light source device and an organic light emitting layer material and the organic light-emitting layer-forming coating solution as well as the device using the same