G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS

G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof

G05B23/02—Electric testing or monitoring

G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults

G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection

G05B23/0267—Fault communication, e.g. human machine interface [HMI]

G—PHYSICS

G05—CONTROLLING; REGULATING

G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS

G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof

G05B23/02—Electric testing or monitoring

G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults

G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection

G05B23/0283—Predictive maintenance, e.g. involving the monitoring of a system and, based on the monitoring results, taking decisions on the maintenance schedule of the monitored system; Estimating remaining useful life [RUL]

G06Q30/04—Billing or invoicing, e.g. tax processing in connection with a sale

G—PHYSICS

G05—CONTROLLING; REGULATING

G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS

G05B2219/00—Program-control systems

G05B2219/20—Pc systems

G05B2219/24—Pc safety

G05B2219/24001—Maintenance, repair

G—PHYSICS

G05—CONTROLLING; REGULATING

G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS

G05B2219/00—Program-control systems

G05B2219/30—Nc systems

G05B2219/32—Operator till task planning

G05B2219/32234—Maintenance planning

Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS

Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE

Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS

Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS

Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE

Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS

Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS

Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE

Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS

Ein Verfahren für die Fernwartung eines Automatisierungssystems ist in WO-00/23894 beschrieben. A method for remote maintenance of an automation system is described in WO-00 / 23,894thEine Bedienungsvorrichtung übermittelt an das Automatisierungssystem einen Befehl zur Anforderung eines Statusberichts. An operation device transmits to the automation system a command for requesting a status report.Als Antwort darauf übermittelt das Automatisierungssystem Informationen über den Status einer bestimmten Anwendung des Automatisierungssystems an die Bedienungsvorrichtung. In response, the automation system transmits information about the status of a particular application of the automation system to the operation device.Eine Besonderheit dieses bekannten Verfahrens besteht darin, dass die Kommunikation bzw. Verbindung zwischen dem Automatisierungssystem und der Bedienungsvorrichtung per E-Mail über das Internet erfolgt. A special feature of this known method is that the communication or connection between the automation system and the operating device by e-mail via the Internet.Die übermittelten Informationen werden für die Wartungsarbeiten verwendet. The information provided will be used for maintenance.Das Dokument beschreibt jedoch keine Technik für die Abrechnung der Wartungsarbeiten. However, the document does not describe a technique for settlement of maintenance.

1 1zeigt ein Blockdiagramm mit dem Aufbau des Systems nach der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. is a block diagram showing the configuration of the system according to the first embodiment of the present invention.

28 28zeigt ein Blockdiagramm mit dem Aufbau des Systems nach der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. is a block diagram showing the configuration of the system according to the second embodiment of the present invention.

Die Verbindungseinheit The connecting unit131 131verfügt auch über eine Funktion zur Unterscheidung des von einem Servicetechniker ausgeführten Wartungsvorgangs durch eine eindeutige Kennung wie zum Beispiel 01, 02 usw. und zum Zuordnen der Daten, die den Inhalt dieser Nachrichten angeben (nachstehend als Wartungsergebnisse bezeichnet), zu einer bestimmten Kennung, wenn die Einheit also has a function for discriminating the maintenance operation executed by a service person by a unique identifier such as 01, 02 etc., and for assigning the data indicative of the contents of these messages (hereinafter referred to as maintenance results designated) to a specific identifier if the unit131 131die jeweilige Nachricht für die Startbenachrichtigung, den Wartungsvorgang und die Beendigungsbenachrichtigung von der Verwaltungsvorrichtung the respective message for the start notification, maintenance operation, and the completion notification from the management device122 122erhält, und zu ihrer Aufzeichnung in der Wartungsergebnis-Verwaltungstabelle. receive, and their record in the maintenance result management table.Für die Wartungsergebnisse werden die Informationen darüber aufgezeichnet, wann welcher Servicetechniker mit welcher fachlichen Qualifikation welche Inhalte einer Nachricht in welchem Ausgabemodus in welchem Status der Vorrichtung übermittelt. For the maintenance results, the information is recorded on when which service technician with which professional qualification transmits what contents of a message in what output mode in what state the device.

Die Verbindungseinheit The connecting unit131 131verfügt auch über eine Funktion zum Aufzeichnen der Daten, die den Wert für die War tung angeben (nachstehend als Wartungsgebührenliste bezeichnet), in der Wartungsgebührenlisten-Verwaltungstabelle. also has a function for recording the data indicating the value for the War device (hereinafter referred to as a maintenance charge list) in the maintenance charge list management table.Die Wartungsgebührenliste wird im Werk des Vorrichtungsherstellers bei der Lieferung eingegeben. The maintenance charge list is entered in the factory of the device manufacturer upon delivery.In der Wartungsgebührenliste sind entsprechend der fachlichen Qualifikation des Servicetechnikers, des Vorrichtungsstatus bei der Ausführung des Programms, der Art der gelesenen Verwendungsverlaufsinformationen und des Ausgabemodus die Informationen darüber gespeichert, welcher Wert dem Halbleiterhersteller von dem Vorrichtungshersteller in Rechnung gestellt wird. In the maintenance charge list of device state in the execution of the program, the type of usage history information read and the output mode are in accordance with the professional qualifications of the service technician stored the information on which value is charged to the semiconductor manufacturer of the device manufacturer.Der Wert für die Wartung ist höher, wenn die fachliche Qualifikation eines Servicetechnikers höher ist; The value for maintenance is higher if the professional qualification of a service technician is higher;er ist höher, wenn die Möglichkeit einer Beeinträchtigung des Fertigungsverfahrens eines Halbleiterherstellers höher ist; it is higher when the possibility of a reduction of the manufacturing process of a semiconductor manufacturer is higher;er ist niedriger, wenn das Programm mehr geheime Informationen des Halbleiterherstellers ausliest, und er ist höher, wenn der Zustand des Wartungsvorgangs in größerem Detail angezeigt wird. it is lower when the program reads more secret information of the semiconductor manufacturer, and it is higher when the state of the maintenance operation is shown in greater detail.

Die Steuerungseinheit The control unit132 132verfügt auch über eine Funktion zum Speichern eines Programms, das die Bedingungen und den Ablauf des von der Steuerungseinheit also has a function of storing a program which the conditions and the procedure of the control unit132 132auszuführenden Prozesses angibt, in der Programmverwaltungstabelle. Process to be executed specifies in the program management table.In jedem Programm sind die Informationen über die Bedingungen und Abläufe zur Ausführung des Prozesses gespeichert. In each program the information on the conditions and procedures for carrying out the process are stored.

Die Steuerungseinheit The control unit132 132verfügt auch über eine Funktion zur Ausführung des durch die Ausführungsanforderung mit dem entsprechenden Parameter angegebenen Programms, wenn die Steuerungseinheit also has a function for executing the designated by the execution request using the parameter corresponding program when the control unit132 132eine Ausführungsanforderung von der E/A-Einheit an execution request from the I / O unit130 130empfängt. receives.

Die Steuerungseinheit The control unit132 132verfügt auch über eine Funktion zum Aufzeichnen der Daten, die den Verlauf des entsprechend der von der E/A-Einheit also has a function for recording the data indicating the history of the corresponding to that of the I / O unit130 130empfangenen Ausführungsanforderung ausgeführten Programms angeben (nachstehend als Programmausführungsverlauf bezeichnet), in der Programmausführungs-Verlaufsverwaltungstabelle. received execution request program executed specify (hereinafter referred to as a program execution history hereinafter) in the program execution history management table.In dem Programmausführungsverlauf sind die Informationen darüber gespeichert, welcher Techniker welches Programm mit welchen Parametern ausgeführt hat. In the program execution history information is stored about which technicians which program with which parameters executed.

Die Steuerungseinheit The control unit132 132verfügt auch über eine Funktion zum Aufzeichnen der Daten, die den Status jedes einzelnen von der Steuerungseinheit also has a function for recording the data indicating the status of each of the control unit132 132gesteuerten Teils controlled part134 134angeben (nachstehend als Sensorstatusverlauf bezeichnet), in der Sensorstatus-Verlaufsverwaltungstabelle. state (hereinafter referred to as the sensor state history hereinafter) in the sensor state history management table.In dem Sen sorstatusverlauf sind die Informationen darüber gespeichert, welches Teil wann in welchen Status übergeben wird. In the Sen sorstatusverlauf the information is stored about which is part of when and in what status passed.

Die Steuerungseinheit The control unit132 132verfügt auch über eine Funktion zum Aufzeichnen der Daten, die den Zustand eines mit dem jeweiligen Teil also has a function for recording the data indicating the state of a part with the respective134 134bearbeiteten Wafers angeben (nachstehend als Prozessergebnisse bezeichnet), in der Prozessergebnis-Verwaltungstabelle. specify processed wafer (hereinafter referred to process results) in the process result management table.In den Prozessergebnissen sind die Informationen darüber gespeichert, welcher Wafer in welchen Status gebracht wird. In the process results, the information is stored about which the wafer is placed in the status.

Die Steuerungseinheit The control unit132 132verfügt auch über eine Funktion zum Aufzeichnen der Daten, die den Verlauf des Vorrichtungsstatus angeben (nachstehend als Vorrichtungsstatusverlauf bezeichnet), in der Vorrichtungsstatus-Verlaufsverwaltungstabelle. also has a function for recording the data indicating the history of the device state (hereinafter referred to as a device state history hereinafter) in the device state history management table.In dem Vorrichtungsstatusverlauf sind die Informationen darüber gespeichert, wann die Vorrichtung in welchen Zustand übergeht. In the device status history information stored on when the device is in which state.Der Vorrichtungsstatus umfasst zum Beispiel Produktion, Standby, Technik, planmäßige Stillstandszeit, außerplanmäßige Stillstandszeit, ungeplante Zeit und unendlich. The device status includes, for example, production, standby, engineering, scheduled downtime, unscheduled downtime, unplanned time and infinite.

Die Steuerungseinheit The control unit132 132verfügt auch über eine Funktion zum Lesen des Vorrichtungsstatus, der den Status der Vorrichtung zu dem betreffenden Zeitpunkt angibt, aus der Vorrichtungsstatus-Verlaufsverwaltungstabelle, wenn die Steuerungseinheit also has a function for reading the device status indicating the status of the device at that time from the device state history management table, when the control unit132 132eine Anforderung von der Verbindungseinheit a request from the connection unit131 131empfängt, und zu dessen Weiterleitung an die Verbindungseinheit receives, and to its forwarding to the connecting unit131 131. ,

Das Element „Programmkennung" enthält die Daten zur Angabe der Programmkennung. Das Element „Ausführungsberechtigung" enthält die Daten zur Angabe dessen, ob die Programmausführung für einen Servicetechniker entsprechend dem Ser vicetechnikerattribut des Servicetechnikers, der die Programmausführung anfordert, und dem Status der Vorrichtung zu dem betreffenden Zeitpunkt erlaubt ist oder nicht. The item of "Program ID" stores the data indicating the program identifier. The item of "execution authority" stores the data to the indication of whether the program execution for a service person according to the service technicians attribute of the service person requesting program execution and the status of the device to the the time in question is allowed or not.

Befindet sich die Vorrichtung im Produktionsstatus, ist außerdem die Wartung schwieriger als wenn die Vorrichtung in einem anderen Status ist. the device is in production status, as well as the maintenance is more difficult than when the device is in another state.Daher gibt die Tabelle Therefore, the table151 151an, dass ein Abschlag zu einem niedrigeren Satz auf die Gebühr angerechnet wird, wenn die Wartung ausgeführt werden muss, wenn der Wert des Vorrichtungsstatus „Produktion" lautet, als wenn die Wartung in einem anderen Status ausgeführt wird. that a discount to a lower rate will be deducted from the fee if the maintenance has to be carried out when the value of device state is "production" as if the maintenance is performed in another state.

Außerdem wird, wenn der Ausgabemodus „Vollanzeige" lautet, mehr Know-how bezüglich der Wartung an den Halbleiterhersteller gegeben als wenn die „Teilanzeige" gewählt ist. Moreover, if the output mode "full" is more know-how will be given with respect to the maintenance of the semiconductor manufacturer as if the selected "partial display".Daher gibt die Tabelle Therefore, the table152 152an, dass ein Aufschlag zu einem höheren Satz in Rechnung gestellt wird, wenn der Ausgabemodus „Vollanzeige" lautet und die Wartung ausgeführt werden muss, als wenn der Ausgabemodus „Teilanzeige" lautet und die Wartung ausgeführt werden muss. that a charge will be made at a higher rate into account when the output mode "full" is, and maintenance must be performed as if the output mode is "partial display" and maintenance must be performed.

Das Startbenachrichtigungsfenster The start notification window287 287ist ein Fenster zur Eingabe der Kennung und des Passworts eines Servicetechnikers, die in der Startbenachrichtigung is a window for inputting the identifier and password of a service person in the start notification161 161gespeichert werden, durch den Servicetechniker und besteht aus einem Feld be stored by the service technician and is composed of a field288 288für die Servicetechnikerkennung und einem Passwortfeld for Service person ID and a password field289 289. ,

Das Feld The field288 288für die Servicetechnikerkennung ist ein Feld zur Eingabe der eigenen Servicetechnikerkennung durch den Servicetechniker über die Tastatur, und das Passwortfeld for Service person ID is a field for entering the own service technology detection by the service engineer on the keyboard, and the password field289 289ist ein Feld zur Eingabe des eigenen Passworts durch den Servicetechniker über die Tastatur. is a field to enter your own password by a service technician using the keyboard.

Das Wartungsvorgangsfenster The maintenance operation window290 290ist ein Fenster zur Eingabe von ein oder mehr Befehlen, die in dem Wartungsvorgang is a window for entering one or more commands in the maintenance operation162 162gespeichert werden, und der Kennung der Datei zum Speichern der Programmausführungsergebnisse durch einen Servicetechniker und zum Anzeigen der entsprechenden Wirkung bei Empfang der Wartungsvorgangsantwort is stored and the identifier of the file for storing the program execution results by a service technician and to display the corresponding action upon receipt of the maintenance operation response163 163und besteht aus einer Befehlsliste and consists of a command list291 291und einem Statusfenster and a status window296 296. ,Die Befehlsliste The command list291 291ist eine Liste zur Eingabe von ein oder mehr Befehlen, die in dem Wartungsvorgang is a list for entering one or more commands in the maintenance operation153 153gespeichert werden, durch einen Servicetechniker und besteht aus einem Nummernfeld be stored by a service technician and is composed of a number field292 292, einem Programmkennungsfeld , A program identifier field293 293, einem Parameterfeld , A parameter field294 294und einem Ergebnisdatei-Kennungsfeld and a result file ID field295 295. ,Das Nummernfeld The number field292 292ist ein Feld zur Eingabe der Reihenfolge der Befehlsausführung durch einen Servicetechniker über die Tastatur, das Programmkennungsfeld is a field for entering the order of command execution by a service technician via the keyboard, the program identifier field293 293ist ein Feld zur Eingabe der Kennung des von der Halbleiterfertigungsvorrichtung is a field for inputting the identifier of the semiconductor manufacturing device123 123auszuführenden Programms durch den Servicetechniker über die Tastatur, das Parameterfeld Program to be executed by the service engineer via the keyboard, the parameter field294 294ist ein Feld zur Eingabe des Parameters, der an das von der Halbleiterfertigungsvorrichtung is a field for inputting the parameter to which the semiconductor manufacturing device123 123auszuführende Programm übergeben werden muss, durch den Servicetechniker über die Tastatur und das Ergebnisdatei-Kennungsfeld Program to be executed must be passed by a service technician using the keyboard and the result file identifier field295 295ist ein Feld zur Eingabe der Kennung der Datei zum Speichern der Programmausführungsergebnisse durch den Servicetechniker über die Tastatur. is a field for inputting the identifier of the file for storing the program execution results by the service engineer via the keyboard.

Weiter hält die Halbleiterfertigungsvorrichtung die Daten zur Angabe der fachlichen Qualifikation eines Servicetechnikers in dem Servicetechnikerattribut bereit und erzeugt Wartungsgebühreninformationen entsprechend den Wartungsattributdaten eines Servicetechnikers, der den Wartungsvorgang übermittelt, so dass die Steuerung und durch gängige Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend der fachlichen Qualifikation eines Servicetechnikers ausgeführt werden können. Further, the semiconductor manufacturing device holds the data indicating the technical level of a service person in the service person attribute and generates maintenance charge information according to the maintenance attribute data of a service person transmitting the maintenance operation, so that the control and executed by thorough services and billing according to the technical level of a service technician can ,

Weiter hält die Halbleiterfertigungsvorrichtung die Daten zur Angabe des Verarbeitungsstatus der Halbleiterfertigungsvorrichtung in den Vorrichtungsstatusdaten bereit und erzeugt Wartungsgebühreninformationen entsprechend den Vorrichtungsstatusdaten zum Zeitpunkt der Ausführung des Prozesses, so dass die Steuerung und durchgängige Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend der Möglichkeit einer Beeinträchtigung des Fertigungsverfahrens eines Halbleiterherstellers ausgeführt werden können. Further, the semiconductor manufacturing device holds the data indicating the processing status of the semiconductor manufacturing device in the device state data and generates maintenance charge information according to the device state data at the time of execution of the process, so that the control and thorough services and billing according to the possibility of an effect of the manufacturing process of a semiconductor manufacturer can be carried out ,

Weiter speichert die Halbleiterfertigungsvorrichtung die Verwendungsverlaufsinformationen zur Angabe des Verwendungsverlaufs der Halbleiterfertigungsvorrichtung und erzeugt Wartungsgebühreninformationen entsprechend der Art der je nach Wartungsvorgang gelesenen Verwendungsverlaufsinformationen, so dass die Steuerung und durchgängige Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend den von einem Halbleiterhersteller erhaltenen geheimen Informationen ausgeführt werden können. Further, the semiconductor manufacturing device stores the use history information indicating the usage history of the semiconductor manufacturing device and generates maintenance charge information according to the kind of use history information read according to the maintenance operation, so that the control and thorough services and billing according to the information obtained from a semiconductor manufacturer secret information can be performed.

Weiter gibt die Halbleiterfertigungsvorrichtung den ausgeführten Verarbeitungsstatus entsprechend dem Wartungsvorgang an einen Techniker aus und erzeugt Wartungsgebühreninformationen entsprechend dem Inhalt des Ausgabestatus, so dass die Steuerung und durchgängige Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend dem Know-how bezüglich der durch den Vorrichtungshersteller erbrachten Wartung ausgeführt werden können. Further, the semiconductor manufacturing device outputs the processing status executed in accordance with the maintenance operation to an engineer and generates maintenance charge information according to the contents of the output status, so that the control and thorough services and billing according to the expertise of the services provided by the device manufacturer's maintenance can be carried out with respect.

Weiter hält die Halbleiterfertigungsvorrichtung das Servicetechnikerattribut zur Angabe des Attributs für einen Servicetechniker und die Programmausführungsberechtigung zur Angabe der nötigen Attributbedingungen für die Prozessausführung bereit und liest das Servicetechnikerattribut und die Programmausführungsberechtigung, wenn der Wartungsvorgang von der Bedienungsvorrichtung empfangen wird, und nur wenn das Attribut des Servicetechnikerattributs die Bedingung für den Programmausführungsstatus nicht erfüllt, kann der Zugriff entsprechend dem Attribut des Servicetechnikers beschränkt werden. Further, the semiconductor manufacturing device holds the service person attribute to specify the attribute for a service and program execution authority to specify the required attribute conditions for process execution and reads the service person attribute and program execution permission if the maintenance operation is received from the operation device, and only if the attribute of the service person attribute the does not meet condition for the program execution status, the access can be limited corresponding to the attribute of the service technician.

Weiter hält die Halbleiterfertigungsvorrichtung den Vorrichtungsstatus zur Angabe des Status der Halbleiterfertigungsvorrichtung und die Programmausführungsberechtigung zur Angabe des für die Prozessausführung nötigen Status bereit und liest den Vorrichtungsstatus zu dem betreffenden Zeitpunkt und die Programmausführungsberechtigung, wenn der Wartungsvorgang von der Bedienungsvorrichtung empfangen wird, und nur wenn der Status in dem Vorrichtungsstatus die Bedingung in dem Programmausführungsstatus erfüllt, wird der Prozess entsprechend dem Wartungsvorgang ausgeführt, so dass es möglich ist, den Zugriff entsprechend dem Vorrichtungsstatus zu beschränken. Further, the semiconductor manufacturing device holds the device status to indicate the status of the semiconductor manufacturing apparatus and program execution authority to specify the time needed to process execution status and reads the device status at that time and the program execution permission if the maintenance operation is received from the operation device, and only if the state met in the apparatus status, the condition in the program execution status, the process is executed according to the maintenance operation, so that it is possible to limit the access according to the device state.

Weiter hält die Halbleiterfertigungsvorrichtung den Ausgabemodus zur Identifizierung des Status für die Ausgabe des Wartungsvorgangsstatus an die Halbleiterfertigungsvorrichtung und die Statusausgabeberechtigung zur Angabe des für die Ausgabe des Wartungsvorgangsstatus nötigen Ausgabemodusstatus bereit und liest den Ausgabemodus und die Statusausgabeberechtigung, wenn der Wartungsvorgang von der Bedienungsvorrichtung empfangen wird, und nur wenn der Status in dem Ausgabemodus die Bedingung in der Statusausgabeberechtigung erfüllt, wird der Wartungsvorgangsstatus an die Halbleiterfertigungsvorrichtung ausgegeben, so dass es möglich ist, die Ausgabe entsprechend dem Ausgabemodus zu beschränken. Further, the semiconductor manufacturing device holds the output mode for identifying the state for outputting the maintenance operation state to the semiconductor manufacturing apparatus and the state output authority to specify the required for the issue of the maintenance operation state output mode status and reads the output mode and the state output authority when the maintenance operation is received from the operation device, and only if the status in the output mode satisfies the condition in the condition output authority, the maintenance operation status is output to the semiconductor manufacturing device so that it is possible to limit the output according to the output mode.

In dem System nach der vorliegenden Erfindung sind die Bedienungsvorrichtung In the system according to the present invention, the operating device are113 113und die Verbindungseinheit and the connection unit131 131der Halbleiterfertigungsvorrichtung the semiconductor manufacturing device123 123um eine nachstehend beschriebene neue Funktion erweitert. expanded to include a new function indicated below.Der übrige Aufbau ist jedoch derselbe wie bei dem beschriebenen System nach der ersten Ausführungsform. However, the other structure is the same as in the described system according to the first embodiment.

Wie bereits erwähnt, ist bei dem System nach dieser Ausführungsform das System nach der ersten Ausführungsform so modifiziert, dass die Bedienungsvorrichtung As mentioned above, in the system of this embodiment, the system is modified according to the first embodiment, so that the operation device113 113die Wartungsgebührenliste an die Halbleiterfertigungsvorrichtung the maintenance charge list to the semiconductor manufacturing device123 123übermittelt und die Halbleiterfertigungsvorrichtung transmitted, and the semiconductor manufacturing device123 123die Gebühreninformationen unter Verwendung der empfangenen Wartungsgebührenliste erzeugt, so dass die Wartungsgebührenliste ohne weiteres geändert werden kann. which generates charge information using the received maintenance charge list, so that the maintenance charge list can be easily changed.

Die dritte Ausführungsform ist eine Modifikation der ersten Ausführungsform. The third embodiment is a modification of the first embodiment.Bei der dritten Ausführungsform beschränkt die Halbleiterfertigungsvorrichtung In the third embodiment, the semiconductor manufacturing apparatus has a limited123 123die Ausgabe an die E/A-Einheit unter Verwendung der zum Zeitpunkt der Lieferung im Werk des Vorrichtungsherstellers eingege benen Statusausgabeberechtigung. the output to the I / O unit using the eingege the time of delivery in the factory of the device manufacturer's enclosed state output authority.Bei dieser Ausführungsform wird jedoch die Ausgabe an die E/A-Einheit In this embodiment, however, the output to the I / O unit130 130unter Verwendung der nach Lieferung aus dem Werk von der Bedienungsvorrichtung using the following delivery from the work of the operating device113 113des Wartungszentrums of the maintenance center110 110gelieferten Statusausgabeberechtigung beschränkt. delivered state output authority is limited.

In dem System nach der vorliegenden Erfindung sind die Bedienungsvorrichtung In the system according to the present invention, the operating device are113 113und die Verbindungseinheit and the connection unit131 131der Halbleiterfertigungsvorrichtung the semiconductor manufacturing device123 123um eine nachstehend beschriebene neue Funktion erweitert. expanded to include a new function indicated below.Der übrige Aufbau ist jedoch derselbe wie bei dem beschriebenen System nach der ersten Ausführungsform. However, the other structure is the same as in the described system according to the first embodiment.

Wie bereits erwähnt, ist bei dem System nach dieser Ausführungsform das System nach der ersten Ausführungsform so modifiziert, dass die Bedienungsvorrichtung die Statusausgabeberechtigung an die Halbleiterfertigungsvorrichtung As mentioned above, in the system of this embodiment, the system is modified according to the first embodiment, so that the operating device in the state output authority to the semiconductor manufacturing device123 123übermittelt und die Halbleiterfertigungsvorrichtung transmitted, and the semiconductor manufacturing device123 123die Ausgabe des Wartungsvorgangsstatus unter Verwendung der empfangenen Ausgabeberechtigungsdaten beschränkt, so dass die Statusausgabeberechtigung ohne weiteres geändert werden kann. limiting the output of the maintenance operation state using the received output authority data, so that the state output authority can be easily changed.

Die vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachstehend ausführlich beschrieben. The fourth embodiment of the present invention will be described in detail below.28 28zeigt ein Blockdiagramm mit dem Aufbau eines Fernwartungssystems für eine Halbleiterfertigungsvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung. is a block diagram showing the configuration of a remote maintenance system for a semiconductor manufacturing device according to the present invention.Bei der ersten Ausführungsform sind das Wartungszentrum In the first embodiment, the maintenance center are110 110und ein oder mehr Halbleiterwerke and one or more semiconductor plants120 120über das Internet via the Internet100 100miteinander verbunden, und eine Wartungsanfrage wird an dasselbe Wartungszentrum übermittelt. connected to each other, and a maintenance request is transmitted to the same maintenance center.Bei dieser Ausführungsform sind jedoch ein oder mehr Wartungszentren In this embodiment, however, one or more maintenance centers110 110und ein oder mehr Halbleiterwerke and one or more semiconductor plants120 120über das Internet via the Internet100 100miteinander verbunden, und eine durchgängige Abrechnung wird entsprechend dem Übermittlungsziel einer Wartungsanfrage ermöglicht. connected to each other, and a thorough billing is enabled according to the transmission destination of a maintenance request.

Bei dem in In the in28 28gezeigten System sind zwei Wartungszentren System shown are two maintenance centers110 110und zwei Werke and two works120 120angegeben. specified.In der Praxis können jedoch mehr als zwei Wartungszentren In practice, however, more than two maintenance centers110 110bzw. Werke or works120 120installiert sein. be installed.Außerdem können die Wartungszentren In addition, maintenance centers can110 110jeweils unterschiedlichen Wartungsanbietern oder demselben Wartungsanbieter gehören, und die Werke each with different service providers or the same service providers are, and the works120 120können jeweils unterschiedlichen Halbleiterherstellern oder demselben Halbleiterhersteller gehören. may include each different semiconductor manufacturers or the same semiconductor manufacturer.

In dem System nach der vorliegenden Erfindung ist die Verbindungseinheit In the system according to the present invention, the connecting unit131 131der Halbleiterfertigungsvorrichtung the semiconductor manufacturing device123 123um eine nachstehend beschriebene neue Funktion erweitert. expanded to include a new function indicated below.Der übrige Aufbau der einzelnen Vorrichtungen ist jedoch derselbe wie bei dem beschriebenen System nach der ersten Ausführungsform. However, the remaining structure of the individual devices is the same as in the described system according to the first embodiment.

Wie vorstehend beschrieben, können nach der vorliegenden Erfindung die Steuerung und durchgängige Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend dem Inhalt des von der Halbleiterfertigungsvorrichtung durchgeführten Wartungsvorgangs und dem Anforderungsziel für die Wartung ausgeführt werden. As described above, the control and thorough services and billing according to the contents of the process performed by the semiconductor manufacturing device maintenance operation and the request destination of maintenance can be carried out according to the present invention.

Weiter können eine Zugriffsbeschränkung entsprechend dem Attribut eines Servicetechnikers, eine Zugriffsbeschränkung entsprechend dem Status der Vorrichtung und eine Ausgabebeschränkung entsprechend dem Ausgabemodus ausgeführt werden. Next to restrict access in accordance with the attribute of a service technician, access restriction according to the status of the device and an output limit according to the output mode can be performed.

Process control system for use in petroleum process plant, implements software routine by receiving process data, process control data and process performance data, for performing function within plant

Method for configuration and operation of peripheral devices connected to a host unit via a field bus in which the peripherals are supplied with a configuration file so that they can be directly configured by the host over the bus