1. 簡介

2. 摘要整理

3. 推進力

4. 軟體

CIM的發展

MES

通訊規格

SEMATECH CIM framework

5. 硬體設備

自動化的要素

彈性自動化

可靠性

工具的問題與趨勢

E-manufacturing(產業電子化)

6. 市場分析

市場影響因素

市場預測的前提條件

市場預測(自動運輸工具市場，營運商運輸市場，MES軟體市場)

7. 使用者相關問題

關於自動化的當今見解

工廠相關的新範例

開始運作的新工廠

關於ＲＯＩ的見解

舊範例的八個預兆

新範例的有效利用

目錄

Clean processing has driven the proliferation of wafer-handling automation within process tools. Wafer-handling robot arms in vacuum and atmospheric tools are standard today. Meanwhile, Moore's Law played the primary role in wafer size increases and the automation that is present outside of the process tools.