(EN)An apparatus and use of the apparatus to form nanometer sized features on a workpiece includes a plurality of individually biasable tips, and each tip has a diameter on the scale or 10 nm or less. By moving the tips above the surface of a workpiece in the presence of reactants, features can be directly formed on the workpiece on a sub-micron size, below the resolution of current photolithography. The features may be etched into a workpiece, or formed thereover.(FR)L'invention concerne un appareil et une utilisation de l'appareil pour former des caractéristiques à l'échelle nanométrique sur une pièce à usiner, comprenant une pluralité de pointes inclinables individuellement et chaque pointe présentant un diamètre de l'ordre de 10 nm ou moins. En déplaçant les pointes au-dessus de la surface d'une pièce à usiner en présence de réactifs, des caractéristiques peuvent être formées directement sur la pièce à usiner à une échelle submicronique, au-dessous de la résolution de la photolithographie actuelle. Les caractéristiques peuvent être gravées dans une pièce à usiner ou formées sur la surface de celle-ci.