Development of large-diameter uniform plasma sources is of crucial importance for performing a wide-area plasma processing.In order to produce such a uniform plasma a plane-slotted antenna with permanent magnets has been developed to produce an electron cyclotron resonance (ECR) plasma at Tohoku University. This method successfully provides a large-diameter ECR plasma with a uniformity of (]SY.+-.])(3-5)% over a diameter of 40-50 cm. Moreover, a modified magnetron typed plasma source developed at Tohoku University also provides large-diameter uniform radio-frequency (RF) plasmas.On the other hand, high density plasma sources are studied at the Korean Advanced Institute of Science and Technology (Kaist) by using helicon wave heating and inductively coupled plasma production methods at the RF frequency. The diagnostic method employing optical probe has also been developed to evaluate the radical density and its profile in reactive plasmas.The main purpose of this project is to combine su
… Morech results obtained at Tohoku University and the KAIST to develop a large-diameter uniform plasma source for the wide-area plasma processing. During the project we had two seminars at the KAIST to discuss about the problems and techniques for detecting the uniformity of radical density supplied from the plane ECR antenna plasma source at Tohoku University. The experiments show the importance of radial profile of plasma parameters.1.ヘリコン波プラズマ及びICPプラズマの高密度特性2.ECRプラズマ及びRFプラズマの大面積化法3.大面積化用プラズマシミュレーション法4.プラズマ測定法及び特性評価法両機関の協議の結果、大面積・均一プラズマの生成にはアルゴン等の不活性ガスで得られた電子密度や電子温度、あるいはプラズマ空間電位の均一性が反応性プラズマ中でどの様に変化する化について解明すると共に、表面反応に直接寄与するラジカルなどの反応活性種の一様性及びその種類の選択制が極めて重要であることが指摘された。この問題の具体的な解決のために、まず手始めとして、東北大学で得られた大口径プラズマ中のカジカル分布の均一性について、韓国側で開発された光プローブ法を用いて実際に測定し、プラズマパラメータの均一性とラジカル密度の均一性の関係について明らかにする必要があるとの認識を得た。光プローブ法は発光性ラジカルの分布の計測には有用な測定手段となる。これらの経過を踏まえて、「プラズマプロセス用大面積プラズマの生成」に関する第2回討論会が韓国先端科学技術研究所で行われ、前回報告された一様プラズマ生成法及びその計測法についてのいくつかの問題点に対する意見交換をするとともに、東北大学での共同実験の打ち合わせを目的とした。具体的には、大面積一様プロセスで課題となっているプラズマ中のラジカル活性種の測定を、東北大学にある大口径プロセス反応装置を使って、韓国側が提案した光プローブ計測法を適用して行うために必要な準備及び装置等の打ち合わせをした。また、これと平行して、これまで日韓両国の研究グループで行われたいくつかのプラズマ生成法の詳細について、最新の研究成果の情報交換及び討論した。3月には、韓国側が光プローブを東北大学に持参し、共同実験が開始される。 Less